本文選題：成像系統(tǒng) + 主動光學��； 參考：《激光與光電子學進展》2015年07期

【摘要】：為補償光刻物鏡由不均勻照明引入的Z5像散,設計了一種主動變形鏡,并分析該主動變形鏡的像散補償性能。利用有限元分析方法,建立主動變形鏡的有限元模型,得到主動變形鏡調(diào)節(jié)能力、剛體位移誤差、固有頻率及最大應力等性能。結果表明,主動變形鏡在50 N驅(qū)動力作用下可以實現(xiàn)鏡片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散補償,伴隨產(chǎn)生的鏡片表面高階像差僅為RMS 1.124 nm,三個方向剛體平移僅為0.49、0.52、0.13 nm,三個方向的剛體旋轉(zhuǎn)僅為2.21、1.73、1.10 ms,主動變形鏡一階固有頻率達到2555 Hz,最大應力為0.852 MPa,滿足光刻物鏡像散補償需求。
[Abstract]:An active deformable mirror is designed to compensate for the astigmatic compensation performance of an active deformable mirror . The results show that the active deformation mirror can realize the surface - shape root mean square ( RMS ) 837 nm Z5 astigmatism compensation of the lens surface under the action of 50 N driving force . The results show that the active deformation mirror can realize the lens surface - shape root mean square root ( RMS ) 837 nm Z5 astigmatism compensation only . The three - direction rigid body rotation is only 2.21 , 1.73 , 1.10 ms , the first - order natural frequency of the active deformation mirror is 2555 Hz , the maximum stress is 0.852 MPa , and the astigmatic compensation requirement of the lithography objective lens is satisfied .

【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【基金】：國家重大專項02專項(2009ZX02205)
【分類號】：TH74

【參考文獻】

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本文編號：1807686