本文選題：光學(xué)檢測 + 大型光學(xué)設(shè)備��； 參考：《光學(xué)精密工程》2015年02期

【摘要】：使用大口徑平行光管檢測大型光學(xué)設(shè)備或元件時(shí),平行光管的自身誤差會(huì)影響檢測結(jié)果,故本文提出了一種消除光學(xué)檢測結(jié)果中平行光管引入誤差的新方法。該方法使用干涉儀獲取平行光管和光學(xué)檢測系統(tǒng)的出射波前信息并以37項(xiàng)Standard Zernike Phase多項(xiàng)式進(jìn)行擬合;通過兩組系數(shù)相減分離平行光管引入誤差,再配合ZEMAX中建立的等效被檢光學(xué)系統(tǒng)的仿真模型模擬真實(shí)系統(tǒng)的出射光錐,最終獲得被檢光學(xué)系統(tǒng)真實(shí)的出射波前信息。利用ZEMAX中的光學(xué)系統(tǒng)模型驗(yàn)證了該方法在大口徑光學(xué)檢測工作中的可行性;使用焦距為1 597mm,口徑為150mm的小型平行光管、焦距為50mm的光學(xué)鏡頭進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:使用該方法獲得的被檢光學(xué)系統(tǒng)出射波前與真實(shí)波前的PV值誤差小于0.005λ,RMS值誤差小于0.001λ,可以滿足實(shí)驗(yàn)室中對(duì)被檢光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量參數(shù)檢測的精度要求。
[Abstract]:When large optical devices or components are detected by using large diameter parallel optical tubes, the errors of parallel optical tubes will affect the detection results. Therefore, a new method to eliminate the errors introduced by parallel optical tubes in optical inspection results is proposed in this paper. In this method, the wavefront information of parallel optical tube and optical detection system is obtained by interferometer and fitted with 37 items of Standard Zernike Phase polynomials. With the simulation model of the equivalent detected optical system established in ZEMAX to simulate the output cone of the real system, the real wavefront information of the detected optical system is obtained. The feasibility of this method in large aperture optical detection is verified by using the optical system model in ZEMAX. The experiment is carried out using a small parallel optical tube with a focal length of 1 597 mm and a aperture of 150mm and an optical lens with a focal length of 50mm. The experimental results show that the PV value error of the detected optical system is less than 0.005 位 / L and 0.001 位, which can meet the precision requirements of the imaging quality parameters of the optical system tested in the laboratory. The experimental results show that the error of the PV value of the detected optical system is less than 0.005 位 / L and the error of the real wavefront is less than 0.001 位.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61307114)
【分類號(hào)】：TH74

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本文編號(hào)：1811354