本文選題：光柵干涉儀 + 位移測量　； 參考：《組合機(jī)床與自動化加工技術(shù)》2016年12期

【摘要】：對進(jìn)一步提高光柵干涉儀定位檢測系統(tǒng)的定位精度和位移檢測分辨率進(jìn)行了研究,分析了檢測視場中干涉條紋的不同測量位置對定位系統(tǒng)的影響,提出了一種利用干涉相移進(jìn)行超精密位移檢測的新方法,在傳統(tǒng)的光柵干涉儀系統(tǒng)中加入相位掃描機(jī)構(gòu),使光電傳感器在檢測視場中的兩個干涉條紋間進(jìn)行移動,從而改變了光柵干涉儀的接收相位,理論上可以達(dá)到納米、亞納米等更高精度的檢測。精密定位檢測實(shí)驗(yàn)表明,采用該檢測定位方法可以提高定位精度16%以上。
[Abstract]:In this paper, the effect of different measuring positions of interference fringes in the field of view on the positioning system is analyzed by further improving the positioning accuracy and displacement detection resolution of the grating interferometer location detection system. A new method of ultra-precision displacement detection using interferometric phase shift is proposed. The phase scanning mechanism is added to the traditional grating interferometer system to make the photoelectric sensor move between two interference fringes in the detection field of view. Thus, the receiving phase of grating interferometer is changed, and more accurate detection can be achieved in theory, such as nanometers and subnanometers. The precision positioning test results show that the precision of this method can be improved by more than 16%.
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動力工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目(51275306)
【分類號】：TH744.3

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前7條

1 郝德阜;;光柵干涉儀的運(yùn)動誤差原理[J];光學(xué)機(jī)械;1990年05期

2 ;光柵干涉儀測量大偏差[J];應(yīng)用光學(xué);1997年01期

3 趙博,晏磊,郝德阜;一種二維光柵干涉儀的研究[J];儀器儀表學(xué)報;2001年03期

4 周維來;光柵干涉儀在高精密測量中的技術(shù)和應(yīng)用[J];工具技術(shù);1994年01期

5 王曉琳,楊厚民,郭杜,張宇華;衍射光柵刻劃機(jī)的高精度開環(huán)定位系統(tǒng)[J];儀器儀表學(xué)報;1999年01期

6 葉蓉華,洪寶晉,何永蓉;編碼非相干光源光柵干涉儀[J];應(yīng)用光學(xué);1997年02期

7 ;[J];;年期

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 吳亞風(fēng);高精度平面光柵干涉儀的設(shè)計(jì)與研究[D];電子科技大學(xué);2015年

，

本文編號：1805567