本文選題：微位移工作臺(tái) + 驅(qū)動(dòng)器浮動(dòng)��； 參考：《機(jī)械設(shè)計(jì)與制造》2014年10期

【摘要】：微位移工作臺(tái)在微機(jī)電系統(tǒng)、超精密加工和生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。設(shè)計(jì)了一種驅(qū)動(dòng)器浮動(dòng)的二維解耦微位移工作臺(tái)。工作臺(tái)采用雙層柔性鉸鏈桿對(duì)稱一體化結(jié)構(gòu),消除了X、Y方向的耦合運(yùn)動(dòng)。推導(dǎo)了微位移工作臺(tái)的理論剛度。為了驗(yàn)證此微位移工作臺(tái)能夠滿足設(shè)計(jì)要求,采用有限元方法進(jìn)行分析計(jì)算,有限元計(jì)算得到的微位移工作臺(tái)剛度與微位移工作臺(tái)的理論剛度吻合較好,并且通過(guò)有限元計(jì)算的結(jié)果驗(yàn)證了工作臺(tái)在X、Y方向的運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合。
[Abstract]:Micro-displacement table is widely used in micro-electromechanical system, ultra-precision machining and biomedical engineering.A two-dimensional decoupling micro displacement table with floating driver is designed.The table adopts double-layer flexure hinge bar symmetrical integrated structure, which eliminates the coupling motion in XY direction.The theoretical stiffness of the micro-displacement table is derived.In order to verify that the micro-displacement table can meet the design requirements, the finite element method is used to analyze and calculate. The stiffness of the micro-displacement table calculated by the finite element method is in good agreement with the theoretical stiffness of the micro-displacement table.The results of finite element analysis show that there is no coupling in the XY direction of the worktable.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)機(jī)械與汽車(chē)工程學(xué)院;
【基金】：合肥工業(yè)大學(xué)2012年國(guó)家級(jí)大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)(訓(xùn)練、實(shí)踐)計(jì)劃項(xiàng)目(201210359001)
【分類號(hào)】：TH703

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1764237