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近場超聲懸浮精度理論分析及試驗研究

發(fā)布時間:2018-03-26 18:15

  本文選題:近場超聲懸浮 切入點:氣體擠壓膜 出處:《機械工程學報》2014年11期


【摘要】:應用流體潤滑理論建立自由懸浮體氣膜壓力分布模型以及懸浮體非線性運動方程,應用非線性數(shù)值求解方法對模型進行求解,獲得高頻激勵下氣體擠壓膜壓力分布、承載能力以及懸浮體懸浮狀態(tài)參數(shù)的瞬態(tài)響應。以此為基礎分析不同狀態(tài)下懸浮體的懸浮精度,并討論其影響因素及規(guī)律,發(fā)現(xiàn)超聲擠壓膜支承可以達到很高的支承精度,其影響因素主要為激勵頻率、激勵幅值以及懸浮質(zhì)量等。在此基礎上在懸浮試驗臺上對懸浮精度進行試驗研究,發(fā)現(xiàn)數(shù)值計算結果和試驗數(shù)據(jù)有較大差異,分析認為造成這一差異的主要原因是測試過程中懸浮盤約束困難,激勵信號頻率不單一、環(huán)境干擾、計算模型不夠完善等因素,結論可為超聲懸浮軸承或微納米器件懸浮精度設計提供參考。
[Abstract]:Application of fluid lubrication theory to establish the free floating gas film pressure distribution model and suspension nonlinear equations of motion, the application of nonlinear numerical method to solve the model, obtained high frequency excitation of gas squeeze film pressure distribution, load capacity and transient state parameters of the suspension suspension response. Based on analyzing different state precision Suspension Suspension, and discusses its the influence factors and the law, found the ultrasonic extrusion film supporting can achieve very high precision of bearing, the main influencing factors for the excitation frequency, excitation amplitude and suspension quality. On the basis of the suspension test bench of suspended precision of experimental research, found that the numerical results and test data are different, it is analyzed that the causes of this difference is in the process of testing the suspension plate constraint difficult, the frequency of the stimulation signal is not single, environment interference, The calculation model is not perfect, and the conclusion can provide reference for the suspension precision design of ultrasonic bearing or micro nano device.

【作者單位】: 南京航空航天大學機電學院;
【基金】:國家自然科學基金資助項目(50975138)
【分類號】:TH703.3

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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【相似文獻】

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本文編號:1668995

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