本文選題：近場(chǎng)超聲懸浮　切入點(diǎn)：氣體擠壓膜　出處：《機(jī)械工程學(xué)報(bào)》2014年11期

【摘要】：應(yīng)用流體潤(rùn)滑理論建立自由懸浮體氣膜壓力分布模型以及懸浮體非線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)方程,應(yīng)用非線(xiàn)性數(shù)值求解方法對(duì)模型進(jìn)行求解,獲得高頻激勵(lì)下氣體擠壓膜壓力分布、承載能力以及懸浮體懸浮狀態(tài)參數(shù)的瞬態(tài)響應(yīng)。以此為基礎(chǔ)分析不同狀態(tài)下懸浮體的懸浮精度,并討論其影響因素及規(guī)律,發(fā)現(xiàn)超聲擠壓膜支承可以達(dá)到很高的支承精度,其影響因素主要為激勵(lì)頻率、激勵(lì)幅值以及懸浮質(zhì)量等。在此基礎(chǔ)上在懸浮試驗(yàn)臺(tái)上對(duì)懸浮精度進(jìn)行試驗(yàn)研究,發(fā)現(xiàn)數(shù)值計(jì)算結(jié)果和試驗(yàn)數(shù)據(jù)有較大差異,分析認(rèn)為造成這一差異的主要原因是測(cè)試過(guò)程中懸浮盤(pán)約束困難,激勵(lì)信號(hào)頻率不單一、環(huán)境干擾、計(jì)算模型不夠完善等因素,結(jié)論可為超聲懸浮軸承或微納米器件懸浮精度設(shè)計(jì)提供參考。
[Abstract]:Application of fluid lubrication theory to establish the free floating gas film pressure distribution model and suspension nonlinear equations of motion, the application of nonlinear numerical method to solve the model, obtained high frequency excitation of gas squeeze film pressure distribution, load capacity and transient state parameters of the suspension suspension response. Based on analyzing different state precision Suspension Suspension, and discusses its the influence factors and the law, found the ultrasonic extrusion film supporting can achieve very high precision of bearing, the main influencing factors for the excitation frequency, excitation amplitude and suspension quality. On the basis of the suspension test bench of suspended precision of experimental research, found that the numerical results and test data are different, it is analyzed that the causes of this difference is in the process of testing the suspension plate constraint difficult, the frequency of the stimulation signal is not single, environment interference, The calculation model is not perfect, and the conclusion can provide reference for the suspension precision design of ultrasonic bearing or micro nano device.

【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(50975138)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703.3

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1668995