本文選題：激光干涉儀　切入點：折射率測量　出處：《工具技術(shù)》2015年01期

【摘要】：波長誤差是激光干涉儀的重要誤差源,而折射率的變化直接影響波長精度,本文介紹了激光折射率修正的原理,比較了間接、絕對、相對三種實用折射率修正方法的特點,分析了折射率修正的算法,進而提出一些正確使用激光干涉儀的方法。
[Abstract]:Wavelength error is an important error source of laser interferometer, and the variation of the refractive index directly affects the precision of wavelength, this paper introduces the principle of laser refraction correction, the indirect, absolute and relative three modified methods with refractive index characteristics, analyzed the refraction correction algorithm, and then put forward some correct use of laser interference instrument approach.

【作者單位】： 成都工具研究所有限公司;
【分類號】：TH744.3

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1667082