本文關(guān)鍵詞：基于靜電平行板驅(qū)動(dòng)器的MEMS變形鏡特性分析　出處：《半導(dǎo)體光電》2015年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：靜電平行板驅(qū)動(dòng)器是基于靜電驅(qū)動(dòng)的MEMS變形鏡的關(guān)鍵部件,其靜態(tài)及動(dòng)態(tài)性能對(duì)MEMS變形鏡有重要影響。設(shè)計(jì)并利用表面硅工藝加工制作了三種基于不同彈性系數(shù)的靜電平行板驅(qū)動(dòng)器的MEMS變形鏡,分別采用解析公式和有限元仿真方法分析了彈性系數(shù)對(duì)變形鏡的三項(xiàng)性能參數(shù)即行程、吸合電壓和固有頻率的影響,并利用白光表面輪廓儀進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試,驗(yàn)證了理論和仿真結(jié)果的有效性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明三種變形鏡中半圓環(huán)梁驅(qū)動(dòng)器變形鏡具有適中的吸合電壓和較大的行程,最適合于自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用需求。
[Abstract]:Electrostatic parallel plate driver is a key component of MEMS deformable mirror based on electrostatic drive. Its static and dynamic properties have important influence on MEMS deformable mirror. Three kinds of MEMS deformable mirrors based on electrostatic parallel plate actuator with different elastic coefficients are designed and fabricated by surface silicon process. The influence of elastic coefficient on the three performance parameters of deformable mirror, namely stroke, suction voltage and natural frequency, was analyzed by analytical formula and finite element simulation method, and the experiment was carried out by using white light surface profilometer. The experimental results show that the semicircular beam-driven deformable mirrors in the three deformable mirrors have a moderate suction voltage and a large stroke, which are most suitable for the application of adaptive optical systems.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11403029;61071027) 國家自然科學(xué)基金委員會(huì)-中國工程物理研究院NSAF聯(lián)合基金項(xiàng)目(11176033)
【分類號(hào)】：TH-39;TH74
【正文快照】： 0引言微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)[1]變形鏡是利用微電子工藝加工制作的微型可變形反射鏡,是小型化自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵器件之一,可廣泛應(yīng)用在天文望遠(yuǎn)鏡及人眼視網(wǎng)膜成像等領(lǐng)域[2-4]。MEMS變形鏡從結(jié)構(gòu)上可分為鏡面和驅(qū)動(dòng)器兩部分,鏡面決定了變形鏡的

【參考文獻(xiàn)】

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1 向東;王青玲;張光勇;呂濤;張小妮;;可變形反射鏡的研究進(jìn)展及應(yīng)用[J];半導(dǎo)體光電;2006年06期

2 向東;王青玲;杜秋嬌;畢潔;張光勇;劉翠蘭;;自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)獲取高分辨率視網(wǎng)膜圖像[J];半導(dǎo)體光電;2008年01期

3 胡放榮;熊顯名;;MEMS空間光調(diào)制器的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J];半導(dǎo)體光電;2010年05期

4 胡放榮;王愛娜;邱傳凱;姚軍;;靜電排斥驅(qū)動(dòng)六邊形MEMS微鏡(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2010年02期

5 張冬至;胡國清;;微機(jī)電系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)及其研究進(jìn)展[J];壓電與聲光;2010年03期

【共引文獻(xiàn)】

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1 陳勇華;;微機(jī)電系統(tǒng)的研究與展望[J];電子機(jī)械工程;2011年03期

2 唐森;董二寶;許e，

本文編號(hào)：1388135