本文關(guān)鍵詞：激光外差干涉儀相位計的設(shè)計　出處：《激光技術(shù)》2014年01期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：外差信號的比相處理是決定外差干涉儀精度、分辨率等性能的重要因素。為了解決比相計的分辨率和檢測速度之間的矛盾,采用比相方法進行了測量原理、應(yīng)用特點及局限性的理論分析,給出了相應(yīng)的解決方案。結(jié)果表明,基于現(xiàn)場可編程門陣列的整周期采樣可以提高自相關(guān)方法的測量精度,混頻過零檢測方法可以提高測量速度。
[Abstract]:Phase contrast processing of heterodyne signal is an important factor to determine the accuracy and resolution of heterodyne interferometer. The results show that the whole period sampling based on field programmable gate array can improve the measurement accuracy of autocorrelation method. The measurement speed can be improved by mixing zero crossing detection method.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計算機工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51075280) 上海市大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)訓(xùn)練計劃資助項目(201210252025)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 引言激光外差干涉是在干涉測量的基礎(chǔ)上,于20世紀60年代開始提出。由于干涉時使測量光與參考光產(chǎn)生一個微小頻率差Δω,使得干涉信號成為頻率為Δω的正弦信號。通過檢測不同點此正弦信號的相位即可測得物體表面的形狀、位置偏移等。由于其測量分辨率高、準確度高及非接觸等特

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1388852