激光外差干涉儀相位計(jì)的設(shè)計(jì)
本文關(guān)鍵詞:激光外差干涉儀相位計(jì)的設(shè)計(jì) 出處:《激光技術(shù)》2014年01期 論文類(lèi)型:期刊論文
更多相關(guān)文章: 測(cè)量與計(jì)量 外差干涉 比相計(jì) 相位測(cè)量
【摘要】:外差信號(hào)的比相處理是決定外差干涉儀精度、分辨率等性能的重要因素。為了解決比相計(jì)的分辨率和檢測(cè)速度之間的矛盾,采用比相方法進(jìn)行了測(cè)量原理、應(yīng)用特點(diǎn)及局限性的理論分析,給出了相應(yīng)的解決方案。結(jié)果表明,基于現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列的整周期采樣可以提高自相關(guān)方法的測(cè)量精度,混頻過(guò)零檢測(cè)方法可以提高測(cè)量速度。
[Abstract]:Phase contrast processing of heterodyne signal is an important factor to determine the accuracy and resolution of heterodyne interferometer. The results show that the whole period sampling based on field programmable gate array can improve the measurement accuracy of autocorrelation method. The measurement speed can be improved by mixing zero crossing detection method.
【作者單位】: 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51075280) 上海市大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)訓(xùn)練計(jì)劃資助項(xiàng)目(201210252025)
【分類(lèi)號(hào)】:TH744.3
【正文快照】: 引言激光外差干涉是在干涉測(cè)量的基礎(chǔ)上,于20世紀(jì)60年代開(kāi)始提出。由于干涉時(shí)使測(cè)量光與參考光產(chǎn)生一個(gè)微小頻率差Δω,使得干涉信號(hào)成為頻率為Δω的正弦信號(hào)。通過(guò)檢測(cè)不同點(diǎn)此正弦信號(hào)的相位即可測(cè)得物體表面的形狀、位置偏移等。由于其測(cè)量分辨率高、準(zhǔn)確度高及非接觸等特
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】
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【相似文獻(xiàn)】
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