本文關(guān)鍵詞：硼摻雜硅翹曲對(duì)微加速度計(jì)靈敏度的影響

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【摘要】：研究了硼摻雜引起的結(jié)構(gòu)翹曲量對(duì)微加速度計(jì)性能的影響,獲取指導(dǎo)微加速度計(jì)設(shè)計(jì)更為準(zhǔn)確的物理模型。通過(guò)解析計(jì)算,結(jié)合有限元仿真及實(shí)驗(yàn)等方法,研究了不同硼擴(kuò)散深度對(duì)微加速度計(jì)靈敏度的影響,得出了不同摻雜狀態(tài)下微加速度計(jì)靈敏度與結(jié)構(gòu)翹曲量之間的關(guān)系表達(dá)式。理論分析與測(cè)試結(jié)果表明,考慮翹曲變形的微加速度計(jì)的靈敏度比無(wú)翹曲時(shí)的微加速度計(jì)靈敏度減小了約5 m V/g,而當(dāng)硼擴(kuò)散深度從90μm變化到120μm時(shí),靈敏度變化量約為2 m V/g。硼摻雜引起的翹曲變形使微加速度計(jì)的靈敏度降低,且隨著擴(kuò)散深度增加,靈敏度增大。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(U1530132,51505068,51575090) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(ZYGX2015J085,ZYGX2014Z004)
【分類號(hào)】：TP212;TH824.4
【正文快照】： 硅微電容式加速度計(jì)是將敏感方向上的加速度輸入轉(zhuǎn)化為電容輸出的微慣性傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的慣性傳感器,硅微電容式加速度計(jì)具有小型化、低成本、低功耗、高性能等優(yōu)點(diǎn)[1]。隨著MEMS(micro-electro-mechanical systems)技術(shù)的不斷發(fā)展成熟,微加速度計(jì)的應(yīng)用開始從中低端領(lǐng)域

【相似文獻(xiàn)】

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中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 劉曉e，

本文編號(hào)：1253309