發(fā)布時間：2017-12-04 22:14

  本文關(guān)鍵詞：不同對準(zhǔn)誤差下的小孔衍射波面誤差分析

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【摘要】：點衍射干涉儀中小孔對準(zhǔn)誤差是影響衍射參考波面質(zhì)量最主要的誤差源�；谌鹄髂┓剖噶垦苌淅碚�,建立了非傍軸高斯光束經(jīng)小孔衍射的嚴(yán)格數(shù)學(xué)描述,對不同對準(zhǔn)誤差下的小孔衍射波面誤差進(jìn)行了分析,在分析中特別考慮了會聚光斑大小的影響。研究表明:小孔對準(zhǔn)誤差的引入使得衍射波面偏差迅速增大,且衍射波面偏差隨對準(zhǔn)誤差的增大呈線性增長;相同對準(zhǔn)誤差下,衍射波面偏差隨會聚光斑半徑的增大而減小,要獲得同等衍射波面偏差,允許的對準(zhǔn)誤差隨會聚光斑的增大呈近同倍數(shù)增長。給出了0.5~3μm小孔在不同會聚光斑直徑和小孔對準(zhǔn)誤差下的衍射波面誤差分布數(shù)據(jù),研究結(jié)果可為點衍射干涉儀中會聚透鏡的選取、小孔對準(zhǔn)精度要求的確定以及小孔衍射波面誤差的估計提供重要參考數(shù)據(jù)。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室;西安工業(yè)大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51275398,90923001) 教育部科學(xué)技術(shù)研究重大項目(311001) “高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備”科技重大專項(2011ZX04004-061) 高等學(xué)校學(xué)科創(chuàng)新引智計劃(B12016) 長江學(xué)者和創(chuàng)新團隊發(fā)展計劃(IRT1033)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言點衍射干涉測量法是近年來為滿足激光核聚變、極紫外光刻等領(lǐng)域?qū)η蛎婧头乔蛎骁R超精面形檢測需求而發(fā)展起來的一種新方法,該方法通過微米尺寸小孔的衍射產(chǎn)生近似理想的球面波作為參考面,代替?zhèn)鹘y(tǒng)球面干涉儀中的標(biāo)準(zhǔn)實物鏡頭,所構(gòu)成的點衍射干涉儀[1-6](PDI),理論上可達(dá)

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本文編號：1252536