本文關(guān)鍵詞：不同對(duì)準(zhǔn)誤差下的小孔衍射波面誤差分析

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【摘要】：點(diǎn)衍射干涉儀中小孔對(duì)準(zhǔn)誤差是影響衍射參考波面質(zhì)量最主要的誤差源�；谌鹄髂┓剖噶垦苌淅碚�,建立了非傍軸高斯光束經(jīng)小孔衍射的嚴(yán)格數(shù)學(xué)描述,對(duì)不同對(duì)準(zhǔn)誤差下的小孔衍射波面誤差進(jìn)行了分析,在分析中特別考慮了會(huì)聚光斑大小的影響。研究表明:小孔對(duì)準(zhǔn)誤差的引入使得衍射波面偏差迅速增大,且衍射波面偏差隨對(duì)準(zhǔn)誤差的增大呈線性增長(zhǎng);相同對(duì)準(zhǔn)誤差下,衍射波面偏差隨會(huì)聚光斑半徑的增大而減小,要獲得同等衍射波面偏差,允許的對(duì)準(zhǔn)誤差隨會(huì)聚光斑的增大呈近同倍數(shù)增長(zhǎng)。給出了0.5~3μm小孔在不同會(huì)聚光斑直徑和小孔對(duì)準(zhǔn)誤差下的衍射波面誤差分布數(shù)據(jù),研究結(jié)果可為點(diǎn)衍射干涉儀中會(huì)聚透鏡的選取、小孔對(duì)準(zhǔn)精度要求的確定以及小孔衍射波面誤差的估計(jì)提供重要參考數(shù)據(jù)。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機(jī)械制造系統(tǒng)工程國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西安工業(yè)大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275398,90923001) 教育部科學(xué)技術(shù)研究重大項(xiàng)目(311001) “高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備”科技重大專項(xiàng)(2011ZX04004-061) 高等學(xué)校學(xué)科創(chuàng)新引智計(jì)劃(B12016) 長(zhǎng)江學(xué)者和創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)發(fā)展計(jì)劃(IRT1033)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言點(diǎn)衍射干涉測(cè)量法是近年來(lái)為滿足激光核聚變、極紫外光刻等領(lǐng)域?qū)η蛎婧头乔蛎骁R超精面形檢測(cè)需求而發(fā)展起來(lái)的一種新方法,該方法通過(guò)微米尺寸小孔的衍射產(chǎn)生近似理想的球面波作為參考面,代替?zhèn)鹘y(tǒng)球面干涉儀中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)物鏡頭,所構(gòu)成的點(diǎn)衍射干涉儀[1-6](PDI),理論上可達(dá)

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