本文關(guān)鍵詞：瑞奇-康芒式大口徑平面鏡面形數(shù)據(jù)處理方法對(duì)比研究

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【摘要】：為使瑞奇-康芒法檢測(cè)結(jié)果更為真實(shí)地反映出被檢平面鏡的面形情況,對(duì)瑞奇-康芒檢測(cè)數(shù)據(jù)處理方法進(jìn)行研究。針對(duì)現(xiàn)有的數(shù)據(jù)模型,提出利用坐標(biāo)轉(zhuǎn)換關(guān)系法計(jì)算平面鏡的面形誤差。利用仿真驗(yàn)證坐標(biāo)轉(zhuǎn)換法的有效性并分析此方法的理論計(jì)算精度。通過(guò)對(duì)比實(shí)驗(yàn)結(jié)果與干涉儀直接檢測(cè)結(jié)果可知,坐標(biāo)轉(zhuǎn)換法的實(shí)際PV檢測(cè)精度優(yōu)于1/20λ,RMS檢測(cè)精度優(yōu)于1/100λ,達(dá)到高精度檢測(cè)要求。相比影響矩陣法結(jié)果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,證明坐標(biāo)轉(zhuǎn)換法更適用于瑞奇-康芒法數(shù)據(jù)處理分析。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11034007)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 基金，

本文編號(hào)：1206479