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基于復(fù)色共焦的透明材料厚度測(cè)量數(shù)據(jù)處理方法研究

發(fā)布時(shí)間:2017-11-20 02:11

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【摘要】:為了解決精密光學(xué)透鏡制造、玻璃容器生產(chǎn)等透明材料相關(guān)行業(yè)對(duì)厚度檢測(cè)的需求,采用復(fù)色共焦法對(duì)透明材料厚度進(jìn)行檢測(cè)。介紹了共焦系統(tǒng)測(cè)量原理,提出了測(cè)量結(jié)構(gòu)方案,構(gòu)建了測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置,并對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行了標(biāo)定。利用線性回歸法對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理:使用線性預(yù)測(cè)函數(shù)建模,根據(jù)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)確定模型中各個(gè)參數(shù),并對(duì)誤差進(jìn)行補(bǔ)償,完善了厚度模型。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:共焦系統(tǒng)的測(cè)量范圍達(dá)到15 mm,測(cè)量精度為±3μm,從而證明該方法是一種高精度的在線非接觸測(cè)量方法。
【作者單位】: 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】:吉林省科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目(20120357)
【分類(lèi)號(hào)】:TH821.1
【正文快照】: 0引言透明材料厚度的測(cè)量是工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),主要可分為接觸式測(cè)量法和非接觸式測(cè)量法。接觸式測(cè)量法的量具直接接觸材料產(chǎn)生應(yīng)力,不但影響測(cè)量精度,而且容易劃傷材料表面。隨著光學(xué)技術(shù)和電子技術(shù)的發(fā)展,非接觸測(cè)量的精度越來(lái)越高,現(xiàn)已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的主要測(cè)量方法[1

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

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5 黨娟娟;田愛(ài)玲;王春慧;王紅軍;劉丙才;;共焦顯微系統(tǒng)探測(cè)器孔徑的最佳匹配[A];2010年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議摘要集[C];2010年

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8 趙維謙;邱麗榮;沙定國(guó);林家明;;超分辨光瞳濾波差動(dòng)共焦顯微測(cè)量技術(shù)研究進(jìn)展[A];第十二屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文(摘要集)[C];2008年

9 劉小虎;黃云;汪之國(guó);;基于激光共焦原理的三維表面形貌測(cè)量[A];第十屆全國(guó)光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2012年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 楊佳苗;激光差動(dòng)共焦干涉元件參數(shù)測(cè)量方法與技術(shù)研究[D];北京理工大學(xué);2015年

2 劉大禮;抗反射率實(shí)時(shí)激光差動(dòng)共焦顯微成像方法與技術(shù)研究[D];北京理工大學(xué);2015年

3 王永紅;基于全場(chǎng)并行共焦的檢測(cè)技術(shù)與系統(tǒng)研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2004年

4 趙晨光;同步移相干涉共焦顯微成像技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

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6 劉文文;基于像散原理的并行共焦微結(jié)構(gòu)形貌檢測(cè)系統(tǒng)及信息處理技術(shù)研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2012年

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8 何小海;激光掃描共焦顯微三維生物醫(yī)學(xué)圖象處理和重建[D];四川大學(xué);2002年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王重陽(yáng);陣列共焦系統(tǒng)中空間光調(diào)制方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

2 楊永發(fā);反射式太赫茲共焦掃描成像特性及圖像復(fù)原研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

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4 周楠;激光差動(dòng)共焦干涉元件參數(shù)測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)[D];北京理工大學(xué);2016年

5 尹哲;差動(dòng)共焦顯微探測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

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9 高曉斌;提高并行共焦探測(cè)精度的方法研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2005年

10 朱加興;對(duì)稱(chēng)離焦的共焦微位移傳感方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

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本文編號(hào):1205699

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