本文關(guān)鍵詞：基于復(fù)色共焦的透明材料厚度測量數(shù)據(jù)處理方法研究

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【摘要】：為了解決精密光學(xué)透鏡制造、玻璃容器生產(chǎn)等透明材料相關(guān)行業(yè)對厚度檢測的需求,采用復(fù)色共焦法對透明材料厚度進(jìn)行檢測。介紹了共焦系統(tǒng)測量原理,提出了測量結(jié)構(gòu)方案,構(gòu)建了測量實驗裝置,并對實驗裝置進(jìn)行了標(biāo)定。利用線性回歸法對實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行處理:使用線性預(yù)測函數(shù)建模,根據(jù)實測數(shù)據(jù)確定模型中各個參數(shù),并對誤差進(jìn)行補(bǔ)償,完善了厚度模型。實驗結(jié)果表明:共焦系統(tǒng)的測量范圍達(dá)到15 mm,測量精度為±3μm,從而證明該方法是一種高精度的在線非接觸測量方法。
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：吉林省科技發(fā)展計劃項目(20120357)
【分類號】：TH821.1
【正文快照】： 0引言透明材料厚度的測量是工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),主要可分為接觸式測量法和非接觸式測量法。接觸式測量法的量具直接接觸材料產(chǎn)生應(yīng)力,不但影響測量精度,而且容易劃傷材料表面。隨著光學(xué)技術(shù)和電子技術(shù)的發(fā)展,非接觸測量的精度越來越高,現(xiàn)已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的主要測量方法[1

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本文編號：1205699