本文關(guān)鍵詞：超精密絕對光柵尺結(jié)構(gòu)設(shè)計及其靜態(tài)讀碼誤差分析

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【摘要】：隨著現(xiàn)代加工制造業(yè)的高速發(fā)展,制造領(lǐng)域?qū)庸ぞ鹊囊笤絹碓礁?與之相關(guān)的科學(xué)技術(shù)計量學(xué)也得到了長足的發(fā)展,以光柵尺為代表的柵式測量設(shè)備在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中起到了關(guān)鍵性的作用。光柵尺作為機加工中的閉環(huán)控制系統(tǒng),有著精度高、抗干擾力強等優(yōu)點,但同時也有著開機須找零位操作、斷電后不能保留讀數(shù)等不足之處,因此,絕對式光柵尺應(yīng)運而生。本文提出了一種新的絕對光柵尺編碼方法,并將其應(yīng)用于絕對光柵尺的設(shè)計與制造中。首先,在分析了國內(nèi)外光柵尺的研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,提出了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的絕對光柵尺編碼的方式方法,講述了該編碼方式相對于目前國際上的編碼方式的優(yōu)越性。其次,搭建了開放式絕對光柵尺實驗平臺,并通過實驗的方法,驗證了圖像識別技術(shù)應(yīng)用于絕對光柵尺的可行性,檢測出了該編碼方式所刻制的絕對光柵尺的分辨率和定位精度。再者,設(shè)計并制造出了一把封閉式絕對光柵尺樣尺,并闡述了設(shè)計過程中所遇到的重點與難點,提出了相對合理的解決方案。最后,搭建了封閉式絕對光柵尺實驗平臺,通過ANSYS Workbench有限元仿真分析,找到了其前六階的固有頻率和模態(tài)振型,并通過實驗的方法,測試了光柵尺在前三階固有頻率范圍內(nèi)的六種振動頻率下的靜態(tài)讀碼誤碼率,得出了該封閉式絕對光柵尺的抗振性能趨勢,為以后進(jìn)一步研究絕對式光柵尺提供了技術(shù)支持。
【學(xué)位授予單位】：廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TH74

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本文編號：1206981