本文關(guān)鍵詞：對稱分布的三軸諧振陀螺儀的設(shè)計、分析與仿真

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【摘要】：為了實現(xiàn)單片集成三軸陀螺儀,提出了一種完全對稱的四方陀螺結(jié)構(gòu)。介紹了該陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計及工作原理,給出了動力學(xué)簡化模型,并給出了其動力學(xué)方程的詳細(xì)推導(dǎo)。運用Ansys軟件對陀螺結(jié)構(gòu)進(jìn)行了靜態(tài)分析和模態(tài)分析,仿真結(jié)果表明,陀螺在施加100 GHz載荷下所受最大應(yīng)力為1.942 MPa,陀螺各模態(tài)的固有頻率分別為57.345 k Hz、57.382 k Hz以及57.395 k Hz,各模態(tài)間匹配性能較好。對陀螺結(jié)構(gòu)的仿真研究的結(jié)果表明其抗過載及模態(tài)匹配滿足陀螺的設(shè)計要求。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 三軸陀螺 對稱 動力學(xué)分析 抗過載 模態(tài)匹配
【分類號】：TB33
【正文快照】： 微陀螺廣泛地應(yīng)用于民用電子設(shè)備、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、飛行器制導(dǎo)與控制、汽車導(dǎo)航及安全、軍事武器等應(yīng)用中。在微陀螺的應(yīng)用中,很多時候需要同時測量三個方向的角速度,傳統(tǒng)的解決方法是將三個單軸組合成一個集成的三軸陀螺儀[1],這種結(jié)構(gòu)其體積大,功耗高,可靠性能差,因而逐漸被，

本文編號：928589