本文關鍵詞：射頻電源研究綜述

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【摘要】：射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻電源,主要由射頻信號源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成,射頻電源作為等離子體配套電源,廣泛應用于半導體工藝設備、LED與太陽能光伏行業(yè)、科學實驗中的等離子體發(fā)生、射頻感應加熱、醫(yī)療美容及常壓等離子體消毒清洗等領域。本文梳理了國內(nèi)外射頻電源發(fā)展現(xiàn)狀,重點分析電子管射頻電源及晶體管射頻電源的發(fā)展歷程及主要技術區(qū)別,并詳述國內(nèi)外射頻信號源、射頻功率放大器及阻抗匹配器技術發(fā)展。在此基礎上,對我國射頻電源的發(fā)展提出合理性的建議。
【作者單位】： 北京市電子科技情報研究所;
【關鍵詞】： 射頻電源 射頻信號源 功率放大器 阻抗匹配器
【分類號】：TN86
【正文快照】： 射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻電源,主要由射頻信號源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成,是等離子體配套電源。射頻功率放大器被認為是射頻電源的核心,因此射頻功率放大器是制約射頻電源發(fā)展的關鍵因素。射頻電源由20世紀80年代的電子管射頻電源發(fā)

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