本文關(guān)鍵詞：硅微陀螺正交誤差校正方案優(yōu)化

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【摘要】：本文意在尋求雙質(zhì)量硅微機(jī)械陀螺儀正交校正最優(yōu)方案。首先介紹了帶有正交校正和檢測力反饋梳齒的雙質(zhì)量硅微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu),量化分析了正交誤差對輸出信號的影響并進(jìn)行了仿真,結(jié)果顯示解調(diào)相角變化為±2°,200(°)/s的正交誤差等效輸入角速率可引起15(°)/s的輸出信號變化。然后,對目前3種比較主流的硅微機(jī)械陀螺儀正交校正方法(電荷注入法(CIM)、正交力校正法(QFCM)和正交耦合剛度校正法(QCSCM))進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,從理論上證明了這3種方法的可行性。對未加入正交校正環(huán)節(jié)的陀螺進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),結(jié)果顯示其左、右質(zhì)量塊輸出的正交誤差信號峰峰值分別為150mV和300mV。針對兩質(zhì)量塊正交誤差不等的實(shí)際問題提出了質(zhì)量塊單獨(dú)校正的方案。采用CIM、QFCM和QCSCM對校正前零偏及其穩(wěn)定性分別為-4.589(°)/s和378(°)/h的陀螺進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)校正,結(jié)果顯示3種方法均可有效消除檢測通道中正交信號,3種方法的零偏及零偏穩(wěn)定性結(jié)果分別為-8.361(°)/s和423(°)/h,2.419(°)/s和82(°)/h,1.751(°)/s和25(°)/h,證明了正交耦合剛度校正法為3種方法中的最優(yōu)方案。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)國防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院;北京航天控制儀器研究所;
【關(guān)鍵詞】： 硅微機(jī)械陀螺儀 電荷注入法 正交力校正 正交耦合剛度校正
【基金】：總裝預(yù)研基金資助項(xiàng)目(No.9140A09011313JW06119) 江蘇省科技攻關(guān)計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.BE2014003) 國家杰出青年科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51225504) 國家安全重大基礎(chǔ)研究計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2012CB723404) 中北大學(xué)科研基金資助項(xiàng)目
【分類號】：TN96
【正文快照】： 3.北京航天控制儀器研究所,北京100094;4.東南大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院,江蘇南京210096)(1.Science and Technology on Electronic TestMeasurement Laboratory,North University of China,Taiyuan030051,China;2.Key Laboratory of Instrumentation Science and Dynamic Meas

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本文編號：739144