TFT-LCD彩膜不良智能檢修及新產(chǎn)線布局探究
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【部分圖文】:
彩膜,即ColorFilter,是為做彩色LCD而在玻璃上有序地涂紅、綠、藍(lán)顏色而制作成的基板,如圖1所示。彩膜主要分為ADS和TN兩種顯示模式工藝流程,ADS產(chǎn)品工藝流程為ITO-BM-RED-GREEN-BLUE-OC-PS,如圖2所示;TN產(chǎn)品工藝流程為BM-RED-GR....
目前彩膜產(chǎn)線布局如圖4所示,以ADS型產(chǎn)品產(chǎn)線為例進(jìn)行介紹:BM-RED-GREEN-BLUE-OC-PS產(chǎn)線,稱之為Inline;為了提高產(chǎn)品品質(zhì),每條產(chǎn)線均設(shè)置微觀檢查[1]設(shè)備AOI以及宏觀檢查[2]設(shè)備Mura機(jī),進(jìn)行當(dāng)線工藝結(jié)束后的品質(zhì)檢查[3];完成BM工藝后會(huì)到Of....
圖2ADS產(chǎn)品工藝流程2彩膜缺陷檢出、修補(bǔ)和判定智能化實(shí)現(xiàn)
1)原AOI運(yùn)營(yíng)模式:彩膜AOI負(fù)責(zé)彩膜基板微觀缺陷的檢查,根據(jù)檢查類(lèi)型及面積對(duì)缺陷進(jìn)行判定S、M、L、O四個(gè)等級(jí),根據(jù)檢測(cè)CCD不同分為RB、TB、RW、TW四種類(lèi)型;缺陷等級(jí)與類(lèi)型組合如圖5所示。2)問(wèn)題點(diǎn):彩膜AOI檢出缺陷后,將缺陷的坐標(biāo)、Size、類(lèi)型等信息以文件的形式....
本文編號(hào):4009763
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