為保證單反式光端機指向捕獲跟蹤（Pointing, acquisition and tracking, PAT）時反射鏡在惡劣空間環(huán)境下的面形精度,設(shè)計了一種底面開槽的柔性支撐結(jié)構(gòu)。由于柔性支撐結(jié)構(gòu)參數(shù)較多,為避免各參數(shù)之間嚴重耦合,采用正交優(yōu)化方法對柔性支撐結(jié)構(gòu)進行參數(shù)優(yōu)化設(shè)計,再利用有限元方法對反射鏡組件進行熱力學(xué)特性分析。仿真分析結(jié)果表明,反射鏡組件一階頻率為352.61 Hz,在1g重力和10℃溫升（溫降）共同作用下的最大面形誤差RMS為λ/54.79（λ=623.8 nm）,能夠滿足動、靜態(tài)剛度和熱尺寸穩(wěn)定性要求。使用ZYGO干涉儀在（20±10）℃溫度范圍內(nèi)對反射鏡面形進行檢測,結(jié)果表明,反射鏡面形PV值優(yōu)于λ/6,RMS優(yōu)于λ/43,滿足RMS≤λ/40的指標要求。實驗結(jié)果表明,柔性支撐參數(shù)設(shè)計可靠,滿足使用要求。 

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【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號：3694279