FDC在TFT-LCD中的應(yīng)用案例研究
發(fā)布時(shí)間：2021-07-20 00:06
針對x因子不明確的品質(zhì)不良,以TFT-LCD某產(chǎn)品不良為例,提出了FDC大數(shù)據(jù)分析方法。與實(shí)際生產(chǎn)過程相結(jié)合,經(jīng)過數(shù)據(jù)收集和過濾、數(shù)據(jù)降維和主成分分析過程,找到該品質(zhì)不良的強(qiáng)相關(guān)因子。通過對強(qiáng)關(guān)聯(lián)因子進(jìn)行DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),明確關(guān)鍵因子管控線,提高產(chǎn)品生產(chǎn)力。
【文章來源】：制造業(yè)自動(dòng)化. 2020,42(04)CSCD
【文章頁數(shù)】：4 頁
【部分圖文】：
DOE因子圖
使用FDC系統(tǒng)刷取2ITO Etch工序Q3數(shù)據(jù)，共86個(gè)x因子，在JMP中打開數(shù)據(jù)文件并插入Y不良率。首先，刪除投入數(shù)量過小的觀測行，因?yàn)橥度肓枯^小，不良發(fā)生率可能會(huì)偏高，但不代表不良高發(fā)，本案例將Pane數(shù)小于20的全部剔除。采用JMP工具對數(shù)據(jù)中異常值、離群值，刪除無效因子列或強(qiáng)相關(guān)性因子列進(jìn)行過濾降噪。對單值為空的單值數(shù)據(jù)，探索缺失值并以均值/中位值填充，超過標(biāo)準(zhǔn)差的單值離群項(xiàng)需與生技工程師確認(rèn)后刪除，共完成242項(xiàng)數(shù)據(jù)修正；數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差大于100或小于0.01的無效單列因子逐項(xiàng)與工程師確認(rèn)后刪除，如僅在幾個(gè)值間跳動(dòng)的參數(shù)列或固定參數(shù)列，此處共刪除Tank使用時(shí)間、Tank內(nèi)藥液總添加量、Tank內(nèi)各溶質(zhì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)占比、AP電壓等17列因子；對x因子進(jìn)行多元共線性分析，散點(diǎn)圖矩陣看x因子間的相關(guān)性，如圖1所示，結(jié)合工程經(jīng)驗(yàn)刪除強(qiáng)相關(guān)因子共10項(xiàng)，包括同一單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定（如上氣簾壓力和下氣簾壓力，下氣簾吹向Glass背面，作用是配合上氣簾平衡壓力保證Glass順利傳送，對Etch液面無影響，故刪除下氣簾壓力因子）、不同單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定（如不同刻蝕區(qū)間溫度設(shè)定值相同，留任一參數(shù)即可）和明顯存在衍生關(guān)系的變量（AP＿EXT1+AP＿EXT2=固定值）。2.2 FDC數(shù)據(jù)降維和主成分分析
若要找到Y(jié)和x關(guān)系，Y(V-Line Mura Glass別不良率）要有差異，對應(yīng)x因子要有差異，從而實(shí)現(xiàn)差異化篩選。利用JMP對所有x因子進(jìn)行K均值聚類分析[4]，將聚類數(shù)分別設(shè)置為大于等于2的整數(shù)，比較不同聚類數(shù)下的立方聚類準(zhǔn)則CCC(Cubic Clustering Criterion),CCC越大說明分類越顯著。如表1所示，本案例聚類數(shù)為3時(shí)CCC值最大，故將x因子分為3類合理，保存聚類。將Y(V-Line Mura Glass別不良率）進(jìn)行層次聚類分析[5]，星座圖結(jié)果如圖2所示，中心點(diǎn)處發(fā)散出三個(gè)主分支，說明該案例將Y分為3類合理，保存聚類。為方便主成分分析，分別對不同的x、Y類別設(shè)定顏色和標(biāo)記。將所有因子采用多元方法進(jìn)行主成分分析，從不同維度看x因子差異性，比較發(fā)現(xiàn)，主成分1和主成分2下x因子差異性最易區(qū)分，結(jié)果如圖3所示。Y代入結(jié)果如圖4所示，可看出1群對應(yīng)x因子Y不良率低，3群對應(yīng)x因子Y不良率高，2群對應(yīng)x因子Y不良率差異較小。不同維度看Y差異性結(jié)果如圖4所示，主成分1維度下不良率高中低無法區(qū)分，主成分2維度下Y差異明顯，說明主成分2維度可對Y和x進(jìn)行差異化篩選。特征向量查看主成分2顏色越重說明x因子越關(guān)鍵，制成數(shù)據(jù)表Top10強(qiáng)相關(guān)因子如圖5所示，Top因子與工廠經(jīng)驗(yàn)結(jié)合，可知刻蝕區(qū)間斜氣簾壓力和上氣簾壓力為重點(diǎn)管控因子。
本文編號：3291708
【文章來源】：制造業(yè)自動(dòng)化. 2020,42(04)CSCD
【文章頁數(shù)】：4 頁
【部分圖文】：
DOE因子圖
使用FDC系統(tǒng)刷取2ITO Etch工序Q3數(shù)據(jù)，共86個(gè)x因子，在JMP中打開數(shù)據(jù)文件并插入Y不良率。首先，刪除投入數(shù)量過小的觀測行，因?yàn)橥度肓枯^小，不良發(fā)生率可能會(huì)偏高，但不代表不良高發(fā)，本案例將Pane數(shù)小于20的全部剔除。采用JMP工具對數(shù)據(jù)中異常值、離群值，刪除無效因子列或強(qiáng)相關(guān)性因子列進(jìn)行過濾降噪。對單值為空的單值數(shù)據(jù)，探索缺失值并以均值/中位值填充，超過標(biāo)準(zhǔn)差的單值離群項(xiàng)需與生技工程師確認(rèn)后刪除，共完成242項(xiàng)數(shù)據(jù)修正；數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差大于100或小于0.01的無效單列因子逐項(xiàng)與工程師確認(rèn)后刪除，如僅在幾個(gè)值間跳動(dòng)的參數(shù)列或固定參數(shù)列，此處共刪除Tank使用時(shí)間、Tank內(nèi)藥液總添加量、Tank內(nèi)各溶質(zhì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)占比、AP電壓等17列因子；對x因子進(jìn)行多元共線性分析，散點(diǎn)圖矩陣看x因子間的相關(guān)性，如圖1所示，結(jié)合工程經(jīng)驗(yàn)刪除強(qiáng)相關(guān)因子共10項(xiàng)，包括同一單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定（如上氣簾壓力和下氣簾壓力，下氣簾吹向Glass背面，作用是配合上氣簾平衡壓力保證Glass順利傳送，對Etch液面無影響，故刪除下氣簾壓力因子）、不同單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定（如不同刻蝕區(qū)間溫度設(shè)定值相同，留任一參數(shù)即可）和明顯存在衍生關(guān)系的變量（AP＿EXT1+AP＿EXT2=固定值）。2.2 FDC數(shù)據(jù)降維和主成分分析
若要找到Y(jié)和x關(guān)系，Y(V-Line Mura Glass別不良率）要有差異，對應(yīng)x因子要有差異，從而實(shí)現(xiàn)差異化篩選。利用JMP對所有x因子進(jìn)行K均值聚類分析[4]，將聚類數(shù)分別設(shè)置為大于等于2的整數(shù)，比較不同聚類數(shù)下的立方聚類準(zhǔn)則CCC(Cubic Clustering Criterion),CCC越大說明分類越顯著。如表1所示，本案例聚類數(shù)為3時(shí)CCC值最大，故將x因子分為3類合理，保存聚類。將Y(V-Line Mura Glass別不良率）進(jìn)行層次聚類分析[5]，星座圖結(jié)果如圖2所示，中心點(diǎn)處發(fā)散出三個(gè)主分支，說明該案例將Y分為3類合理，保存聚類。為方便主成分分析，分別對不同的x、Y類別設(shè)定顏色和標(biāo)記。將所有因子采用多元方法進(jìn)行主成分分析，從不同維度看x因子差異性，比較發(fā)現(xiàn)，主成分1和主成分2下x因子差異性最易區(qū)分，結(jié)果如圖3所示。Y代入結(jié)果如圖4所示，可看出1群對應(yīng)x因子Y不良率低，3群對應(yīng)x因子Y不良率高，2群對應(yīng)x因子Y不良率差異較小。不同維度看Y差異性結(jié)果如圖4所示，主成分1維度下不良率高中低無法區(qū)分，主成分2維度下Y差異明顯，說明主成分2維度可對Y和x進(jìn)行差異化篩選。特征向量查看主成分2顏色越重說明x因子越關(guān)鍵，制成數(shù)據(jù)表Top10強(qiáng)相關(guān)因子如圖5所示，Top因子與工廠經(jīng)驗(yàn)結(jié)合，可知刻蝕區(qū)間斜氣簾壓力和上氣簾壓力為重點(diǎn)管控因子。
本文編號：3291708
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