【摘要】：當(dāng)前平板顯示產(chǎn)業(yè)正處于飛速發(fā)展時(shí)期,人們對(duì)平板顯示器件的需求越來(lái)越高,從智能手表、手機(jī)到筆記本電腦、液晶電視,平板顯示屏的應(yīng)用尺寸越來(lái)越大。大尺寸液晶面板制造過(guò)程復(fù)雜,加工精度高,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求很高,產(chǎn)能難以突破。及時(shí)發(fā)現(xiàn)缺陷,提高面板良率是保證產(chǎn)量的關(guān)鍵,平板顯示屏自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀器主要用于平板生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)。受平板大型化發(fā)展趨勢(shì)的影響,液晶面板對(duì)檢測(cè)儀器的分辨率、定位精度和穩(wěn)定性都提出了更高的要求。運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)是儀器的核心,是液晶面板檢測(cè)流程控制的重要基礎(chǔ)。MP2300S作為系統(tǒng)的主控制器,通過(guò)M-II總線技術(shù)和IO模塊、伺服驅(qū)動(dòng)單元置于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)網(wǎng)路中,構(gòu)成分布式控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)多軸同步運(yùn)動(dòng)控制。采用直線光柵尺作為位置檢測(cè)反饋裝置,與MP2300S、伺服驅(qū)動(dòng)器和電機(jī)構(gòu)成全閉環(huán)伺服控制系統(tǒng),保證系統(tǒng)的定位精度和分辨率。根據(jù)儀器工作流程,利用MP720編程軟件,采用梯形圖程序和運(yùn)動(dòng)程序相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)液晶面板檢測(cè)過(guò)程的時(shí)序控制。梯形圖程序負(fù)責(zé)邏輯控制,運(yùn)動(dòng)程序負(fù)責(zé)電機(jī)移動(dòng)控制。儀器分為正常工作模式和工程模式,正常工作模式用于整機(jī)在線連續(xù)工作,工程模式用于系統(tǒng)檢修和調(diào)試。利用工業(yè)以太網(wǎng)技術(shù),編寫(xiě)通訊處理程序,實(shí)現(xiàn)MP2300S和人機(jī)界面的數(shù)據(jù)交換,為構(gòu)建網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)提供基礎(chǔ)。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類(lèi)號(hào)】：TN873.93;TP273
【圖文】：

并完成玻璃基板的吸附動(dòng)作。吸盤(pán)吸附完成后兩臺(tái)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)玻璃基描成像區(qū)域?qū)ふ胰毕輩^(qū)，為保證圖像掃描單元的掃描成像精度，這一過(guò)程直線電機(jī)必須具備同步性和穩(wěn)定性。之后系統(tǒng)等待圖像處理單元的處理結(jié)執(zhí)行復(fù)檢，兩臺(tái)直線電機(jī)就直接驅(qū)動(dòng)玻璃基板移動(dòng)到下料區(qū)完成下料動(dòng)作復(fù)檢，復(fù)檢電機(jī)驅(qū)動(dòng)復(fù)檢相機(jī)移動(dòng)到玻璃基板缺陷區(qū)，對(duì)缺陷進(jìn)行更詳細(xì)分析缺陷的類(lèi)型和原因，該過(guò)程要求復(fù)檢電機(jī)必須具備較高的定位精度，準(zhǔn)確地找到圖像缺陷區(qū)。復(fù)檢完成后玻璃基板移動(dòng)到下料區(qū)下料，下料完直線電機(jī)回到上料區(qū)，繼續(xù)完成下一塊玻璃基板的檢測(cè)流程。.3 運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)平板檢測(cè)儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)方案如圖 2.2 所示，主要由機(jī)器控制界面上位機(jī)（HMI）、伺服驅(qū)動(dòng)單元、I/O 模塊和電源模塊組成。系統(tǒng)采+機(jī)器控制器的控制方式，組成主從式控制系統(tǒng)。通過(guò) Hub 將 HMI 和機(jī)置于同一個(gè)局域網(wǎng)中，利用工業(yè)以太網(wǎng)技術(shù)完成數(shù)據(jù)交換和資源共享，構(gòu)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)與定位的精確控制。

第三章 控制系統(tǒng)硬件設(shè)計(jì)與電氣規(guī)劃位移量并反饋給伺服驅(qū)動(dòng)器[37]。驅(qū)動(dòng)器比較反饋值與設(shè)定值的大小則輸出定位完成信號(hào)，電機(jī)停止運(yùn)動(dòng)；若兩者不等則繼續(xù)驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)定值完成定位[38-39]。線電機(jī)全閉環(huán)伺服控制詳細(xì)連接圖如圖 3.5 所示，伺服驅(qū)動(dòng)器的三相接直線伺服電機(jī)主回路為其提供電力支持，CN2 接口連接串行轉(zhuǎn)換換單元另一端連接直線光柵尺和直線伺服電機(jī)動(dòng)子上負(fù)責(zé)轉(zhuǎn)向的霍。

、電磁閥等開(kāi)關(guān)量的通斷，完成液晶面板檢測(cè)的時(shí)序控制功能，包括夾持對(duì)中掃描區(qū)、復(fù)檢、去下料區(qū)等一系列動(dòng)作。前后下料區(qū)主拖拖1 1 1 32左側(cè)右側(cè)縱向氣缸吸盤(pán)氣缸橫向氣缸人輔板電磁閥221 1 1 23 224 3輔板電磁閥2 1輔板電磁閥上料區(qū)圖 3.7 氣浮平臺(tái)開(kāi)關(guān)量分布圖Fig 3.7 I/O distribution diagram of air floatation platform

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2804594