高性能半導體單光子探測器研究
【學位授予單位】:中國科學技術(shù)大學
【學位級別】:博士
【學位授予年份】:2018
【分類號】:O413;TN918
【圖文】:
圖1.1光電倍增管工作原理示意圍丨251逡逑光電倍增管單光子探測器出現(xiàn)很早,被廣泛應用于天體物理,粒子物理等領(lǐng)逡逑域。其主要工作原理為外光電效應和二次電子發(fā)射發(fā)射機制[25]。圖1.1為光電逡逑倍增管的工作原理示意圖。光陰極、聚焦極、多個倍增極和收集陽極等特殊電極逡逑被裝入透明真空的殼體內(nèi)。工作時,光陰極和第一倍增極之間、相鄰各級倍增極逡逑之間以及最后一極倍增極和陽極之間加有依次升高的正向電壓,從玻璃窗入射的逡逑光子能量大于光陰極中電子的逸出功時,光陰極向真空管內(nèi)發(fā)射光電子,光電子逡逑通過聚焦極匯聚,在電場作用下向第一倍增極運動,并在第一倍增極表面激發(fā)出逡逑二次電子,這些電子再次在電場的作用下向下一級倍增極運動,再次激發(fā)出更多逡逑的二次電子,光電子在各個倍增極成倍的激發(fā)出二次電子,最后在陽極被吸收,逡逑形成可探測的宏觀電流,最終增益為I04?108倍。光電倍增管的光譜響應由光陰逡逑極和光窗的材料決定。現(xiàn)有光陰極材料主要有Cs-I、Sb-Cs、GaAsP等材料
邐(DYNODES)逡逑\邋PHOTOCATHODE逡逑圖1.1光電倍增管工作原理示意圍丨251逡逑光電倍增管單光子探測器出現(xiàn)很早,被廣泛應用于天體物理,粒子物理等領(lǐng)逡逑域。其主要工作原理為外光電效應和二次電子發(fā)射發(fā)射機制[25]。圖1.1為光電逡逑倍增管的工作原理示意圖。光陰極、聚焦極、多個倍增極和收集陽極等特殊電極逡逑被裝入透明真空的殼體內(nèi)。工作時,光陰極和第一倍增極之間、相鄰各級倍增極逡逑之間以及最后一極倍增極和陽極之間加有依次升高的正向電壓,從玻璃窗入射的逡逑光子能量大于光陰極中電子的逸出功時,光陰極向真空管內(nèi)發(fā)射光電子,光電子逡逑通過聚焦極匯聚,在電場作用下向第一倍增極運動,并在第一倍增極表面激發(fā)出逡逑二次電子,這些電子再次在電場的作用下向下一級倍增極運動,再次激發(fā)出更多逡逑的二次電子,光電子在各個倍增極成倍的激發(fā)出二次電子,最后在陽極被吸收,逡逑形成可探測的宏觀電流
2.1.1硅單光子雪崩二極管逡逑硅SPAD的發(fā)展非常成熟。它的光譜響應范圍在400邋nm到1000邋nm之間。逡逑硅SPAD的結(jié)構(gòu)主要有三種,如圖2.1所示。逡逑100-200邋pm逡逑10-100邋um逡逑H23邐e邐c5S邐hv-j邐^逡逑U,-邐fa邋r逡逑圖2.1硅SPAD主要結(jié)構(gòu)逡逑最左側(cè)為“貫穿”型(Reach邋through)結(jié)構(gòu)[39],是由Perkin邋Elmer公司開逡逑發(fā),主要有以下特點:(1)邋PN結(jié)厚度較大,通常為幾十,又被稱為“厚結(jié)”逡逑結(jié)構(gòu);(2)由于PN結(jié)較厚,這種結(jié)構(gòu)的器件雪崩擊穿電壓較高,一般從200邋V逡逑到500邋V不等;(3)其感光區(qū)域也比較大,直徑在100pm至500邋pm之間;(4)逡逑探測效率相與高,在540邋nm到850邋nm波段探測效率均可達50%以上,最高探逡逑測效率在70%以上;(5)暗計數(shù)較低,最小在幾十個左右;(6)在光子到達的時逡逑7逡逑
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