【摘要】：為了減小多節(jié)點(diǎn)激光通信天線的工作包絡(luò)尺寸并提高二維擺鏡的運(yùn)動控制精度,提出了一種緊湊型擺鏡組件。采用高體分鋁基碳化硅(SiC/Al)支撐板與H-K9L反射鏡直接黏接的方案,提高了擺鏡面形的熱穩(wěn)定性,擺鏡回轉(zhuǎn)中心至鏡面的距離被縮短至20mm。黏接面采用三點(diǎn)薄圓環(huán)的設(shè)計,在保證擺鏡組件動態(tài)剛度的前提下有效降低了黏接應(yīng)力對擺鏡面形的影響。有限元分析結(jié)果表明,擺鏡組件的基頻為1319.96Hz,在(20±5)℃工作溫度范圍內(nèi),面形峰谷(PV)值優(yōu)于λ/4(λ=632.8nm),面形均方根(RMS)值優(yōu)于λ/22。使用ZYGO激光干涉儀對擺鏡的面形進(jìn)行檢測,結(jié)果表明,在(20±5)℃溫度范圍內(nèi),擺鏡面形的PV值優(yōu)于λ/4,RMS值優(yōu)于λ/29,滿足激光通信天線RMS為λ/15的指標(biāo)要求。

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