【摘要】：綜述了硅微機械陀螺儀溫度補償方法的研究現(xiàn)狀。介紹了陀螺儀的基本原理,并分析了陀螺儀的溫度特性。分別對溫度控制、器件設(shè)計和算法補償三種溫度補償方法進行了原理和結(jié)果分析,總結(jié)了各種方法的優(yōu)勢與不足。介紹了算法補償中兩種常用的溫度誤差模型構(gòu)建方法,算法補償既符合小體積、低成本的設(shè)計理念,又能有效提升陀螺儀的溫度穩(wěn)定性,但復(fù)雜的算法需要強大的內(nèi)存支撐,系統(tǒng)的響應(yīng)速度亦會受到影響,因此在算法的優(yōu)化設(shè)計方面仍有巨大的研究潛力和空間。隨著陀螺儀數(shù)字化進程的不斷推進,溫度誤差模型構(gòu)建的標準化方法以及優(yōu)化的算法是未來進一步的發(fā)展方向。
[Abstract]:The research status of temperature compensation methods for silicon micromachined gyroscopes is reviewed. The basic principle of gyroscope is introduced, and the temperature characteristics of gyroscope are analyzed. The principle and results of three temperature compensation methods, temperature control, device design and algorithm compensation, are analyzed, and the advantages and disadvantages of these methods are summarized. This paper introduces two commonly used temperature error model construction methods in algorithm compensation. The algorithm compensation not only accords with the design concept of small volume and low cost, but also can effectively improve the temperature stability of gyroscope, but the complex algorithm needs strong memory support. The response speed of the system will also be affected, so there is still great research potential and space in the optimization design of the algorithm. With the development of gyroscope digitization, the standardization method and optimization algorithm of temperature error model are the further development direction in the future.
【作者單位】： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體集成技術(shù)工程研究中心;中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電技術(shù)學(xué)院;中國科學(xué)院大學(xué)電子電氣與通信工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61274001,61234007,61504130)
【分類號】：TN96

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本文編號：2495260