本文選題：微同軸 + 傳輸線　； 參考：《合肥工業(yè)大學(xué)》2017年碩士論文

【摘要】：近年來,機載雷達(dá)、低空導(dǎo)彈系統(tǒng)、相控陣?yán)走_(dá)等的發(fā)展對微波電路提出了高集成化的要求,用來減少裝備體積和重量,提高可靠性并改善頻帶。單片微波集成電路憑借高集成度、低成本、高性能的優(yōu)勢在微波集成電路中脫穎而出。矩形同軸金屬傳輸線是實現(xiàn)單片微波集成電路小型化、輕質(zhì)化的關(guān)鍵,此微結(jié)構(gòu)是復(fù)雜的微米級三維立體結(jié)構(gòu),其微加工工藝頗為復(fù)雜,基于此開展了矩形同軸金屬微結(jié)構(gòu)的加工工藝研究�；赨V-LIGA工藝技術(shù),結(jié)合BPN和SU-8紫外負(fù)性光刻膠加工制備矩形同軸金屬傳輸線的微結(jié)構(gòu)。此微結(jié)構(gòu)利用BPN負(fù)性光刻膠制備出膠膜微結(jié)構(gòu);采用SU-8負(fù)性光刻膠制備微結(jié)構(gòu)內(nèi)導(dǎo)體的支撐體;利用微電鑄對膠膜微結(jié)構(gòu)電鑄金屬層;最后將BPN膠膜微結(jié)構(gòu)剝離,即可得到矩形同軸傳輸線的金屬微結(jié)構(gòu)。首先本文就加工工藝具體流程進(jìn)行設(shè)計,對比逐層疊加工藝技術(shù)、間接鍵合技術(shù)以及外導(dǎo)體一次成型工藝三種微加工工藝方案,在外導(dǎo)體一次成型工藝技術(shù)的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化,制定了操作步驟簡單,成品優(yōu)良,周期短的工藝方案;然后就實驗過程中出現(xiàn)的膠膜成型難,鑄層粗糙等關(guān)鍵問題進(jìn)行分析,并提出了相應(yīng)的解決方案;最后對加工的矩形微同軸樣品進(jìn)行質(zhì)量檢測,主要包括壁厚、整體高度、總體長度、內(nèi)導(dǎo)體寬度和側(cè)壁傾斜度等,檢測結(jié)果表明其加工尺寸在可接受的誤差范圍之內(nèi),表面形貌和整體輪廓較為理想。
[Abstract]:In recent years, the development of airborne radar, low-altitude missile system and phased array radar has put forward the requirement of high integration of microwave circuit, which is used to reduce the volume and weight of equipment, improve reliability and improve the frequency band. Monolithic microwave integrated circuits stand out in microwave integrated circuits with the advantages of high integration, low cost and high performance. Rectangular coaxial metal transmission line is the key to realize the miniaturization and lightness of monolithic microwave integrated circuit. Based on this, the processing technology of rectangular coaxial metal microstructure is studied. Based on UV-LIGA technology, the microstructure of rectangular coaxial metal transmission line was fabricated by BPN and SU-8 UV negative photoresist processing. The microstructures are prepared by using BPN negative photoresist, the support of the inner conductors of the microstructures are prepared by SU-8 negative photoresist, the metal layers of the microstructures are electroformed by microelectroforming, and the microstructures of the BPN films are finally stripped off. The metal microstructures of rectangular coaxial transmission lines can be obtained. First of all, this paper designs the specific process flow, compares three kinds of micromachining technology, such as layer by layer superposition technology, indirect bonding technology and one forming process of outer conductor, and optimizes the technology of outer conductor once forming. The process plan with simple operation steps, excellent finished product and short cycle is worked out, and then the key problems such as difficult forming of rubber film and rough cast layer are analyzed, and the corresponding solutions are put forward. Finally, the quality of the rectangular microcoaxial samples is tested, including wall thickness, overall height, total length, inner conductor width and sidewall inclination, etc. The results show that the machining size is within the acceptable error range. The surface morphology and overall outline are ideal.
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TN811

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1906223