本文關(guān)鍵詞： MEMS陀螺儀 飛秒激光 零偏漂移 結(jié)構(gòu)修調(diào)　出處：《中國慣性技術(shù)學(xué)報》2017年02期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：受微加工工藝條件限制,MEMS敏感結(jié)構(gòu)的尺寸等關(guān)鍵參數(shù)的相對誤差較大,使其在宏觀上表現(xiàn)出非理想的運動特性,性能指標(biāo)也難以滿足高精度應(yīng)用的要求。為消除加工誤差的影響,分析了一種MEMS陀螺儀的運動特性和誤差耦合機理,提出了一種通過飛秒激光對敏感結(jié)構(gòu)的梁進(jìn)行刻蝕修調(diào)的方法。MEMS陀螺修調(diào)前后的運動特性試驗表明,修調(diào)后的誤差系數(shù)比修調(diào)前降低了50%以上,而誤差的穩(wěn)定性則比修調(diào)前提高了約70%,證明提出的飛秒激光刻蝕方法能夠抑制微加工誤差的影響,提高M(jìn)EMS陀螺儀的性能。
[Abstract]:The relative error of the key parameters, such as the size of MEMS sensitive structure, is large due to the micromachining process conditions, which makes the MEMS structure exhibit non-ideal motion characteristics in macroscopic view. In order to eliminate the influence of machining errors, the motion characteristics and error coupling mechanism of a MEMS gyroscope are analyzed. A method of etching and adjusting the sensitive structure beam by femtosecond laser is presented. The results of the motion characteristic tests before and after the modification show that the error coefficient after the modification is more than 50% lower than that before the modification. The stability of the error is about 70% higher than that before modification. It is proved that the proposed femtosecond laser etching method can suppress the effect of micromachining error and improve the performance of MEMS gyroscope.
【作者單位】： 北京機械設(shè)備研究所;清華大學(xué)精密儀器系;
【基金】：國防預(yù)研項目(51309010303)
【分類號】：TN249;TN96

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本文編號：1526519