本文關(guān)鍵詞：諧振式微機(jī)械陀螺阻尼設(shè)計

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【摘要】：阻尼存在于微機(jī)械陀螺設(shè)計、制作和封裝整個過程,對其靈敏度、分辨率等動力學(xué)特性產(chǎn)生重要影響,直接決定陀螺的品質(zhì)因數(shù)。但由于對微機(jī)械陀螺阻尼研究不足,MEMS阻尼模型復(fù)雜,在工程實際中長期存在微機(jī)械陀螺的理論設(shè)計性能與實際性能相差較大的問題,嚴(yán)重影響了陀螺性能的提高,因此如何準(zhǔn)確應(yīng)用阻尼模型計算陀螺阻尼問題是工程設(shè)計中一個急需解決的技術(shù)難題。本文以Y軸諧振式微機(jī)械陀螺為研究對象,主要開展了阻尼算法應(yīng)用優(yōu)化方法的研究。首先,從理論上分析了諧振式微機(jī)械陀螺中阻尼的來源,重點考慮了陀螺質(zhì)量塊的空氣阻尼、諧振梁的熱彈性阻尼以及諧振梁的支撐損耗阻尼的影響,針對諧振梁的熱彈性阻尼和支撐損耗阻尼的研究較多,分析了孔板相對基底作面內(nèi)運(yùn)動時氣體的流動特性,建立了孔板滑膜阻尼應(yīng)用模型;其次,通過試驗驗證陀螺阻尼模型的正確性,試驗表明,理論值與測試值的誤差約為6%;最后,將該阻尼應(yīng)用模型用于水平振動的微諧振器的阻尼理論計算,經(jīng)試驗驗證,諧振器品質(zhì)因數(shù)的理論值與實測值誤差約為7%,從第三方驗證了模型的正確性。
【學(xué)位授予單位】：中北大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN96

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本文編號：1302647