本文關(guān)鍵詞：工藝路線對(duì)TFT工廠能源消耗的影響

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【摘要】：為了在TFT工廠的設(shè)計(jì)、建設(shè)及運(yùn)營(yíng)階段采取有針對(duì)性的節(jié)能降耗措施,有效降低器件制備過(guò)程中的能耗,本文根據(jù)我院多年從事TFT生產(chǎn)線節(jié)能評(píng)估工作的經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù),針對(duì)不同技術(shù)路線,選取具有代表性的TFT-LCD及AMOLED生產(chǎn)線,并對(duì)其能耗進(jìn)行對(duì)比分析,以討論不同技術(shù)路線對(duì)TFT-LCD及AMOLED顯示器件生產(chǎn)能耗的影響。分析結(jié)果表明:陣列制備是最主要用能工序,其制備復(fù)雜程度可采用光罩次數(shù)(Mask)表征。隨著光罩次數(shù)的增加,器件制造對(duì)電力、氮?dú)�、新鮮水等能源及耗能工質(zhì)的需求呈急劇增長(zhǎng):采用10-13Mask技術(shù)的LTPS及AMOLED顯示器件,其綜合能耗達(dá)到a-Si及Oxide技術(shù)路線的約350%之多;在不同技術(shù)路線下,電力均為最主要的用能需求,其消耗量占總能耗的80%~87%。能耗的增加導(dǎo)致用能成本的大幅上升。在國(guó)家大力提倡綠色經(jīng)濟(jì)的環(huán)境下,建議各大廠商采取科學(xué)有效的能耗管控措施,以降低能源消耗及用能成本,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展。
【作者單位】： 中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院工藝所;
【關(guān)鍵詞】： TFT LTPS IGZO AMOLED 綜合能耗 單位產(chǎn)品能耗
【分類號(hào)】：TN873
【正文快照】： 1 引言 平板顯示被譽(yù)為信息社會(huì)的“窗口”,是信息社會(huì)發(fā)展的重要支撐。在諸多平板顯示技術(shù)中,TFT顯示器件由于其輕薄、亮麗、響應(yīng)速度快等優(yōu)越特性,成為當(dāng)今社會(huì)應(yīng)用最為廣泛的平板顯示技術(shù)。在國(guó)家政策的大力支持下,我國(guó)TFT產(chǎn)業(yè)取得了長(zhǎng)足進(jìn)展。在產(chǎn)能擴(kuò)充的同時(shí),我國(guó)TFT產(chǎn)

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