在系統(tǒng)裝調(diào)過程中引入的傾斜誤差會影響衍射光學(xué)元件(DOEs)的衍射效率。入射角度的增大也會影響DOEs的衍射效率�；诙鄬友苌涔鈱W(xué)元件(MLDOEs)的相位延遲表達式,提出了斜入射時衍射效率和帶寬積分平均衍射效率(BIADE)與傾斜誤差的理論關(guān)系模型。分析了斜入射時傾斜誤差對衍射效率和BIADE的影響。建立了工作在一定入射角度范圍內(nèi)的復(fù)合BIADE與傾斜誤差的關(guān)系。當(dāng)工作在8～12μm波段的MLDOEs的入射角度范圍為0°～20°時,若要實現(xiàn)98%的復(fù)合BIADE,傾斜誤差角度應(yīng)控制在0.25°范圍內(nèi)。進一步分析了存在偏心誤差和相對微結(jié)構(gòu)高度誤差等其他誤差因素時,要達到一定的復(fù)合BIADE,所需對應(yīng)的傾斜誤差大小。該方法和結(jié)論可以用于指導(dǎo)混合光學(xué)系統(tǒng)中MLDOEs的設(shè)計與裝調(diào)。

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【部分圖文】：

圖1MLDOEs表面入射光的折射

?(λ)=2πd1λ[n1(λ)cosθi,1-1-n12(λ)sin2θi,1]+2πd2λ[n1(λ)sinθi,1sinα-cosα1-n12(λ)sin2θi,1]+2πd2λ[n22(λ)....

圖2MLDOEs的偏心誤差

式中:sinβ2=d2Τ2+d22,Τ為元件的微結(jié)構(gòu)周期寬度。若考慮多層衍射元件在加工過程中引入的微結(jié)構(gòu)高度誤差,則第i層諧衍射元件的實際微結(jié)構(gòu)高度為

圖3正入射時兩個波長處的衍射效率與傾斜誤差的關(guān)系

正入射時,MLDOEs在8.80μm和11.12μm兩個設(shè)計波長處對應(yīng)的衍射效率與傾斜誤差角度的關(guān)系如圖3所示。當(dāng)傾斜誤差為5°時,在設(shè)計波長8.80μm和11.12μm處對應(yīng)的衍射效率分別為99.67%和99.80%。MLDOEs在8～12μm整個波段范圍內(nèi)對應(yīng)的BI....

圖4正入射時BIADE與傾斜誤差的關(guān)系

圖3正入射時兩個波長處的衍射效率與傾斜誤差的關(guān)系3.2斜入射時的傾斜誤差分析

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