發(fā)布時(shí)間：2023-02-16 19:26

　　為了研究移動(dòng)脈沖激光刻蝕單/雙層金屬/聚酰亞胺基復(fù)合材料的規(guī)律,利用有限元方法建立了移動(dòng)納秒脈沖激光刻蝕的通用模型,討論了移動(dòng)速度對(duì)激光刻蝕深度的影響,分析了金屬鋁薄膜和雙層金屬膜在移動(dòng)脈沖激光作用下的溫度變化規(guī)律。結(jié)果表明,當(dāng)激光移動(dòng)速率一定時(shí),刻蝕深度開(kāi)始時(shí)不斷增加,但增加幅度逐漸減小,刻蝕深度逐漸趨于一定值,即達(dá)到最大刻蝕深度;金屬與基底材料界面處的溫度變化相較于金屬薄膜靠近光源處的在時(shí)間上有一定滯后,基底溫度在激光關(guān)閉后可繼續(xù)上升;刻蝕雙層金屬膜時(shí),下層選用較厚且熱導(dǎo)率較大的金屬薄膜有利于保護(hù)聚酰亞胺基底。

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 激光刻蝕模型的建立
3 模擬結(jié)果
    3.1 激光移動(dòng)速度對(duì)刻蝕深度的影響
    3.2 激光移動(dòng)刻蝕過(guò)程中溫度場(chǎng)分布
    3.3 激光刻蝕多層金屬薄膜的溫度場(chǎng)分布
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3744360