利用斜入射光反射差技術(shù)對(duì)表面光滑、上下面存在傾角為0.23°的20號(hào)鋼樣品表面進(jìn)行掃描成像.成像結(jié)果顯示:位置對(duì)斜入射光反射差信號(hào)產(chǎn)生明顯影響,在掃描的0.3mm×0.3mm范圍內(nèi),2條對(duì)角線上的信號(hào)變化率分別為81.5%與33.3%.對(duì)于上下面存在微傾角的柱狀樣本,不同位置存在微小厚度差,使得光程發(fā)生變化,反射率及反射光相位發(fā)生改變,從而改變倍頻信號(hào)的強(qiáng)度.因此,斜入射光反射差技術(shù)可檢測(cè)材料表面的微傾角. 

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)原理
2 實(shí)驗(yàn)儀器與樣品
3 結(jié)果與討論
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3726161