基于光學(xué)薄膜理論,采用光學(xué)特征矩陣法推導(dǎo)了空氣隙Fabry-Perot（F-P）標準具高反射膜反射相移與入射角的數(shù)學(xué)模型,并用TFCalc膜系設(shè)計軟件仿真分析了入射角范圍在0°～3°時反射相移的變化,對數(shù)學(xué)模型進行了驗證。結(jié)果表明,反射相移與入射角呈指數(shù)遞增,入射角度在3°時反射相移為2.88×10^-3 rad。實驗搭建了F-P干涉成像光路,測得F-P標準具間距為（2015.50919±0.00002）μm,相對誤差限約為8.6×10^-9;與未考慮反射相移的測量結(jié)果[間距為（2015.50864±0.00082）μm,相對誤差限約為9×10^-7]相比,測量準確度有了明顯改善。 

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 測量F-P標準具間距d的基本原理
3 基于反射相移的間距測量模型的改進
    3.1 F-P標準具反射相移的理論分析
    3.2 小數(shù)重合法測間距d原理的改進
4 F-P標準具間距測量實驗與結(jié)果分析
    4.1 間距測量實驗裝置
    4.2 同心干涉圓環(huán)數(shù)據(jù)處理及直徑Di的求取
    4.3 F-P標準具間距的結(jié)果分析
5 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于透射式激光空氣隙干涉的納米分辨率精密位移測量[J]. 王子軒,冀聰,王晶,楊鋼,王肖隆,林強.  中國激光. 2019(09)
[2]基于F-P標準具的透射物鏡焦距測量方法[J]. 沈小燕,孫志鵬,胡佳成,李罡,朱鶴年.  儀器儀表學(xué)報. 2018(05)
[3]基于法布里-珀羅干涉儀的脈沖激光譜型測量[J]. 樊燚,林兆祥,程學(xué)武,詹偉強.  中國激光. 2018(08)
[4]多波長加權(quán)回歸準確計算F-P標準具的間隔[J]. 劉松江,常纓,肖志剛,朱鶴年.  紅外與激光工程. 2011(03)
[5]角度調(diào)諧濾光片的膜系優(yōu)化設(shè)計算法[J]. 俞侃,劉文,黃德修,黃華茂.  中國激光. 2007(09)
[6]高精度測量F-P標準具間距的光譜方法[J]. 黃文財,謝建平,呂亮,陳曦曜,明海,魯擁華,王安廷.  中國激光. 2003(08)



本文編號：3725134