�。颊颈疚闹饕獓@垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）中的濕法氧化工藝開展研究,通過閱讀大量相關(guān)文獻,了解垂直腔面發(fā)射激光器的制造工藝,并通過分析設(shè)計濕法氧化工藝參數(shù),實現(xiàn)VCSEL芯片濕法氧化速率精確控制的工藝要求。垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）由于其具有單縱模工作、閾值電流低、圓形光斑易于與光纖耦合、易于集成二維陣列等優(yōu)勢,已經(jīng)成為光互連,光通信,紅外識別,激光顯示,激光照明(Tatum J 

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

氧化臺面刻蝕形貌圖

氧化深度測量示意圖；(b)氧化深度與氧化時間關(guān)系曲線

理論擬合曲線與實際實驗數(shù)據(jù)


本文編號：3694094