為確保光學(xué)調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）測試系統(tǒng)的精度,從針孔法MTF測試原理出發(fā),對系統(tǒng)中各組件的固有誤差、光電系統(tǒng)離焦、噪聲等因素對調(diào)制傳遞函數(shù)測量精度的影響大小進行了計算及比較。結(jié)果表明光源的波長、顯微物鏡的放大倍數(shù)誤差、光電系統(tǒng)離焦和噪聲對系統(tǒng)的MTF測量精度都存在較大影響,需要嚴(yán)格加以控制。針孔尺寸和平行光管的焦距誤差對測量結(jié)果的影響隨針孔像尺寸變大迅速增大,應(yīng)保證針孔像尺寸小于5μm。而CCD的像元尺寸誤差在其換算到被測鏡頭像平面處的尺寸小于2μm時對測量精度幾乎沒有影響。 

【文章來源】：激光雜志. 2020,41(06)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

測試系統(tǒng)示意圖

實際加工的針孔尺寸往往會存在一定誤差，根據(jù)式(1)及式(5)，針孔尺寸誤差會影響針孔頻譜，而平行光管的焦距存在誤差時，也會使得針孔頻譜換算到被測鏡頭像面處的結(jié)果不準(zhǔn)確。當(dāng)分別取5μm和10μm作為針孔理想像直徑的標(biāo)準(zhǔn)值，而針孔目標(biāo)物尺寸或平行光管焦距存在±2%的誤差時，針孔像的歸一化頻譜分別如圖2(a)和圖2(b)所示。圖2 針孔誤差對歸一化頻譜的影響

圖2 針孔誤差對歸一化頻譜的影響在50 lp/mm和100 lp/mm處，當(dāng)針孔像標(biāo)準(zhǔn)尺寸為5μm，針孔尺寸或平行光管焦距存在±2%的誤差時，引起的頻譜相對誤差分別為0.32%和1.4%。而當(dāng)針孔像標(biāo)準(zhǔn)尺寸為10μm時，2%的針孔像尺寸誤差引起的頻譜相對誤差分別為1.4%和10.7%�？梢钥闯鲠樋紫癯叽缭酱�，相同的針孔尺寸誤差或平行光管焦距誤差對針孔在像面處的頻譜影響更大，因此在保證CCD靶面照度的情況下，盡量減小針孔的尺寸，或采用焦距相對更長的平行光管，可以有效降低針孔尺寸誤差和平行光管焦距誤差帶來的影響，另外由公式(4)可知，減小針孔像的尺寸，增大Tpinhole(f)，可以有效避免T(f)中包含的誤差和噪聲被過度放大。

【參考文獻】：
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