同步輻射光束線輝光放電清洗研究
發(fā)布時間：2021-12-15 22:13
同步輻射光束線上存在的碳污染問題不僅影響光束線特別是軟X光束線傳輸效率而且會降低光學(xué)元件使用壽命。目前解決碳污染問題主要途徑是對已經(jīng)污染的光學(xué)元件進(jìn)行清洗或更換。已有大量實(shí)驗(yàn)研究表明碳污染的生成與真空鏡箱的潔凈度特別是腔壁表面的油分子數(shù)量有非常大的關(guān)系。本文目的是利用輝光放電對鏡箱真空室壁進(jìn)行清洗,獲得更加潔凈的真空室,力爭從源頭上減少光學(xué)元件碳污染的產(chǎn)生。論文主要包括如下內(nèi)容:建立了氬氣氧氣（Ar/O2）放電的二維流體模型,并用有限元方法求解得到了放電物理參數(shù)的空間分布,包括電子密度、電子溫度、電勢、離子密度（Ar+、O2+、O-）、亞穩(wěn)態(tài)粒子密度（Ar*、O2（a1?g）、O2（b1Σg+）、O（1D））。通過對放電空間內(nèi)等離子體的數(shù)值模擬,分析了氣體比例、電壓、氣壓和電極排布對...
【文章來源】：中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所)上海市
【文章頁數(shù)】：129 頁
【學(xué)位級別】：博士
【部分圖文】：
同步輻射裝置的發(fā)展
第 1 章 緒論譜亮度可以達(dá)到10171020phs s mm2mrad20 1%BW，光通量phs s 0 1%BW[7]；4) 光束線及實(shí)驗(yàn)站：前端引出若干條光束線，在光束線末端建設(shè)實(shí)驗(yàn)
圖1.3上海同步輻射光源Figure 1.3 Shanghai Synchrotron Radiation Facility1.1.2 同步輻射光束線同步輻射光束線作用是將同步輻射光從儲存環(huán)以一定的傳輸和變換方式引出到用戶實(shí)驗(yàn)站，給實(shí)驗(yàn)提供特定性能的同步光，是位于儲存環(huán)和實(shí)驗(yàn)站之間的一套光學(xué)真空系統(tǒng)，是實(shí)驗(yàn)線站和儲存環(huán)之間的橋梁。主要由前置準(zhǔn)直系統(tǒng)、單色光色散系統(tǒng)、后置聚焦系統(tǒng)等組成。以上海光源 08U 軟 X 射線譜學(xué)顯微光束線站為例，如圖1.4所示，構(gòu)成光束線的主要關(guān)鍵部件包括：水冷白光狹縫、白3
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Cleaning of carbon-contaminated optics using O2/Ar plasma[J]. Yi-Fei Zhang,Hong-Xin Luo,Zhi Guo,Xiang-Jun Zhen,Ming Chen,Jun-Nan Liu. Nuclear Science and Techniques. 2017(09)
[2]基于GIXRR反射率曲線的二氧化硅納米薄膜厚度計(jì)算[J]. 馬一博,王梅玲,王海,袁珮,范燕,邢化朝,高思田. 光譜學(xué)與光譜分析. 2016(10)
[3]Introduction of the X-ray diffraction beamline of SSRF[J]. 楊鐵瑩,文聞,陰廣志,李曉龍,高梅,顧月良,李麗,柳義,林鶴,張興民,趙濱,劉亭坤,楊迎國,黎忠,周興泰,高興宇. Nuclear Science and Techniques. 2015(02)
[4]等離子體清洗同步輻射光學(xué)元件[J]. 尉偉,王秋平,王勇,余小江,高興宇. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2009(06)
[5]光學(xué)元件清洗過程中同步輻射活化氧的研究(英文)[J]. 鐘鵬飛,周洪軍,霍同林,張國斌,鄭津津. 光學(xué)精密工程. 2007(12)
[6]氣體放電實(shí)驗(yàn)與帕邢定律[J]. 侯清潤,茅衛(wèi)紅,陳宜保. 物理實(shí)驗(yàn). 2004(01)
[7]等離子體裝置器壁的直流和高頻輝光放電清洗[J]. 辜學(xué)茂,程珊華,李成富,郭文康,羅南昌,胡婉芬,錢潮. 真空科學(xué)與技術(shù). 1986(02)
[8]真空壁的輝光放電清洗[J]. 傅積闿,郭德全,程珊華,秦品健,阮永田,謝紀(jì)康. 真空科學(xué)與技術(shù). 1984(01)
[9]對不銹鋼表面的輝光放電清洗[J]. 馮廣澤,洪文玉,唐素筠,孫立. 真空科學(xué)與技術(shù). 1981(05)
碩士論文
[1]高能勞厄單色器晶體壓彎機(jī)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)[D]. 張海云.中國科學(xué)院研究生院(上海應(yīng)用物理研究所) 2017
本文編號：3537234
【文章來源】：中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所)上海市
【文章頁數(shù)】：129 頁
【學(xué)位級別】：博士
【部分圖文】：
同步輻射裝置的發(fā)展
第 1 章 緒論譜亮度可以達(dá)到10171020phs s mm2mrad20 1%BW，光通量phs s 0 1%BW[7]；4) 光束線及實(shí)驗(yàn)站：前端引出若干條光束線，在光束線末端建設(shè)實(shí)驗(yàn)
圖1.3上海同步輻射光源Figure 1.3 Shanghai Synchrotron Radiation Facility1.1.2 同步輻射光束線同步輻射光束線作用是將同步輻射光從儲存環(huán)以一定的傳輸和變換方式引出到用戶實(shí)驗(yàn)站，給實(shí)驗(yàn)提供特定性能的同步光，是位于儲存環(huán)和實(shí)驗(yàn)站之間的一套光學(xué)真空系統(tǒng)，是實(shí)驗(yàn)線站和儲存環(huán)之間的橋梁。主要由前置準(zhǔn)直系統(tǒng)、單色光色散系統(tǒng)、后置聚焦系統(tǒng)等組成。以上海光源 08U 軟 X 射線譜學(xué)顯微光束線站為例，如圖1.4所示，構(gòu)成光束線的主要關(guān)鍵部件包括：水冷白光狹縫、白3
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Cleaning of carbon-contaminated optics using O2/Ar plasma[J]. Yi-Fei Zhang,Hong-Xin Luo,Zhi Guo,Xiang-Jun Zhen,Ming Chen,Jun-Nan Liu. Nuclear Science and Techniques. 2017(09)
[2]基于GIXRR反射率曲線的二氧化硅納米薄膜厚度計(jì)算[J]. 馬一博,王梅玲,王海,袁珮,范燕,邢化朝,高思田. 光譜學(xué)與光譜分析. 2016(10)
[3]Introduction of the X-ray diffraction beamline of SSRF[J]. 楊鐵瑩,文聞,陰廣志,李曉龍,高梅,顧月良,李麗,柳義,林鶴,張興民,趙濱,劉亭坤,楊迎國,黎忠,周興泰,高興宇. Nuclear Science and Techniques. 2015(02)
[4]等離子體清洗同步輻射光學(xué)元件[J]. 尉偉,王秋平,王勇,余小江,高興宇. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2009(06)
[5]光學(xué)元件清洗過程中同步輻射活化氧的研究(英文)[J]. 鐘鵬飛,周洪軍,霍同林,張國斌,鄭津津. 光學(xué)精密工程. 2007(12)
[6]氣體放電實(shí)驗(yàn)與帕邢定律[J]. 侯清潤,茅衛(wèi)紅,陳宜保. 物理實(shí)驗(yàn). 2004(01)
[7]等離子體裝置器壁的直流和高頻輝光放電清洗[J]. 辜學(xué)茂,程珊華,李成富,郭文康,羅南昌,胡婉芬,錢潮. 真空科學(xué)與技術(shù). 1986(02)
[8]真空壁的輝光放電清洗[J]. 傅積闿,郭德全,程珊華,秦品健,阮永田,謝紀(jì)康. 真空科學(xué)與技術(shù). 1984(01)
[9]對不銹鋼表面的輝光放電清洗[J]. 馮廣澤,洪文玉,唐素筠,孫立. 真空科學(xué)與技術(shù). 1981(05)
碩士論文
[1]高能勞厄單色器晶體壓彎機(jī)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)[D]. 張海云.中國科學(xué)院研究生院(上海應(yīng)用物理研究所) 2017
本文編號：3537234
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