為了區(qū)分納米量級的表面上方顆粒物灰塵與表面下方氣泡粒子這兩種表面缺陷,且獲得該方法的適用環(huán)境與最佳觀測條件,根據(jù)瑞利散射理論結合偏振雙向反射分布函數(shù),建立了兩種表面缺陷的偏振散射模型并進行了驗證。在此基礎上,通過仿真分析得到不同缺陷環(huán)境、不同觀測條件對兩種表面缺陷粒子偏振散射特性的影響。結果表明:利用p偏振光入射表面,而后探測p偏振光的雙向反射分布函數(shù)值隨散射方位角的變化趨勢可區(qū)分兩種表面缺陷;無論表面下方氣泡粒子位置如何改變,均不影響該趨勢的變化情況;不同光學元件表面材料、缺陷粒子種類、缺陷粒子大小對兩種表面缺陷的偏振散射模型有一定影響,但整體趨勢不變。實驗中,針對本文所述兩種表面缺陷進行區(qū)分時,可選取入射角度和探測散射角度均為45°,采用較小波長入射光進行實驗。 

【文章來源】：中國光學. 2020,13(05)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：13 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號：3526086