寬光譜低反射率減反射膜對提高GaAs基多結太陽電池的光電轉換效率至關重要。設計和制備了寬光譜TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜。理論研究發(fā)現(xiàn),當TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜最佳物理厚度為41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm時,在350¹ 800 nm寬光譜范圍內(nèi)獲得最小有效反射率為2.85%。依據(jù)理論設計,采用真空電子束蒸發(fā)法制備了相應厚度的TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜,分光光度計測試結果表明,在350¹ 800 nm寬光譜范圍內(nèi),有效反射率為7.21%,且在485 nm和850 nm波長附近獲得反射率極小值4.39%和2.16%。 

【文章來源】：微納電子技術. 2017,54(01)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 TiO2/Al2O3/SiO2三層減反射膜的優(yōu)化設計
    1.1 設計理論
    1.2 優(yōu)化結果與分析
        1.2.1 各膜層折射率偏差對膜系Re的影響
        1.2.2 各膜層厚度偏差對膜系Re的影響
2 TiO2/Al2O3/SiO2三層減反射膜的制備與性能分析
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]AlxGa1-xAs/GaAs太陽電池MgF2/ZnS雙層減反射膜的研究[J]. 袁海榮,向賢碧,常秀蘭,陸大成.  太陽能學報. 2000(04)



本文編號：3352665