寬光譜低反射率減反射膜對(duì)提高GaAs基多結(jié)太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率至關(guān)重要。設(shè)計(jì)和制備了寬光譜TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜。理論研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜最佳物理厚度為41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm時(shí),在350¹ 800 nm寬光譜范圍內(nèi)獲得最小有效反射率為2.85%。依據(jù)理論設(shè)計(jì),采用真空電子束蒸發(fā)法制備了相應(yīng)厚度的TiO₂/Al₂O₃/SiO₂三層減反射膜,分光光度計(jì)測(cè)試結(jié)果表明,在350¹ 800 nm寬光譜范圍內(nèi),有效反射率為7.21%,且在485 nm和850 nm波長(zhǎng)附近獲得反射率極小值4.39%和2.16%。 

【文章來源】：微納電子技術(shù). 2017,54(01)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 TiO2/Al2O3/SiO2三層減反射膜的優(yōu)化設(shè)計(jì)
    1.1 設(shè)計(jì)理論
    1.2 優(yōu)化結(jié)果與分析
        1.2.1 各膜層折射率偏差對(duì)膜系Re的影響
        1.2.2 各膜層厚度偏差對(duì)膜系Re的影響
2 TiO2/Al2O3/SiO2三層減反射膜的制備與性能分析
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]AlxGa1-xAs/GaAs太陽(yáng)電池MgF2/ZnS雙層減反射膜的研究[J]. 袁海榮,向賢碧,常秀蘭,陸大成.  太陽(yáng)能學(xué)報(bào). 2000(04)



本文編號(hào)：3352665