Ptychography是近些年快速發(fā)展起來的一種新型相位恢復技術,通過對待測樣品以小于照明光直徑的步長掃描后,利用迭代計算可以重建出照明光和樣品復振幅分布,是一種理論分辨率為衍射極限的非透鏡相位成像技術。雖然其提出初期受限于基本假定條件,但近些年隨著相關研究的跟進,人們對Ptychography算法特性的理解逐漸深入,算法也日趨成熟,在可見光、X射線和電子束等領域已被廣泛應用于相位成像、波前診斷和光學計量,因此針對影響重建過程和精度的關鍵因素,如模態(tài)多樣化、掃描誤差、光斑誤差、距離誤差、樣品厚度不可忽略等進行了總結,并討論了針對上述問題的關鍵技術進展。 

【文章來源】：光學學報. 2020,40(01)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：18 頁

【部分圖文】：

相關匹配算法原理圖。

Ptychography基本光路圖

當數(shù)據(jù)記錄完成后,需要通過迭代計算進行重建。以可以同時重建照明光和待測樣品的ePIE算法為例進行說明,首先對待測樣品和照明光分布進行初始猜測,分別為O0和P0,下標為迭代次數(shù),第k次迭代過程如圖2所示。1) 計算第j個掃描位置對應的出射光ψj=Pk·Ok(r-Rj),并計算其傳播距離D后的衍射光 E j = Ι(ψ j ,D)=| E j | exp (iφ j ) ,其中r=(x,y)表示空間坐標,I表示正向傳播,Ej對應的振幅和相位分別為 | E j | 和φj;

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3298207