集成電路正面臨功耗、帶寬、延時等瓶頸,集成光學(xué)成為關(guān)注焦點(diǎn),要重點(diǎn)探討硅基光電子技術(shù),利用其有良好CMOS工藝兼容性進(jìn)行設(shè)計和應(yīng)用,將光電子器件嵌入到硅基芯片上,并在硅基上引入具有超高載流子遷移率的石墨烯材料,較好地應(yīng)用于光學(xué)開關(guān)、光學(xué)濾波器、光學(xué)調(diào)制器、光電探測器等集成光電子器件,可以充分體現(xiàn)其不可比擬的優(yōu)勢。 

【文章來源】：信息記錄材料. 2020,21(10)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

基于石墨烯-硅波導(dǎo)Y分支結(jié)構(gòu)的雙模光開關(guān)示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
博士論文
[1]基于ε大范圍可調(diào)材料的光調(diào)制器件的研究[D]. 楊龍志.浙江大學(xué) 2016
[2]面向光互連的硅基片上復(fù)用器件的研究[D]. 王健.浙江大學(xué) 2015



本文編號：3114102