為了實現(xiàn)干涉儀出射準直波前的重構(gòu),提出了基于波長調(diào)諧移相的橫向剪切干涉技術。干涉儀出射波前分別經(jīng)楔板的前后表面反射,通過角錐棱鏡返回后在干涉儀CCD上形成剪切干涉條紋。采用波長移相方法提取剪切干涉條紋的相位信息從而實現(xiàn)準直波前重構(gòu)。分析相對剪切比對波面重構(gòu)精度的影響,推導相對剪切比和其影響因素間的關系公式,給出波長移相中光程差常數(shù)分量的估算方法。測量干涉儀的三組出射波前,波前的峰谷值分別為3.22λ、2.10λ、0.83λ。該方法簡化了傳統(tǒng)測量干涉儀準直波前的橫向剪切干涉裝置,提高了測量精度,特別適合于測量波長移相干涉儀的出射波前。 

【文章來源】：應用光學. 2020,41(01)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁


本文編號：3037652