發(fā)布時(shí)間：2020-12-24 08:29

　　低溫等離子體已經(jīng)廣泛的應(yīng)用于我們的生活中,不僅在物理與化學(xué)、材料與能源,微電子與半導(dǎo)體等領(lǐng)域得到了運(yùn)用,而且在飛行器及天線的等離子體隱身方面具有十分重要的研究前景,其對(duì)等離子體的特性提出了更高的要求,如電子密度和溫度等,本文對(duì)等離子體特性的影響因素進(jìn)行了深入的研究。本文主要利用射頻放電和直流放電兩種放電方式研究了等離子體放電增強(qiáng)的影響關(guān)系,利用光纖光譜儀研究了ICP放電的E-H模式轉(zhuǎn)化,并結(jié)合朗繆爾雙探針檢測(cè)對(duì)直流放電進(jìn)行了研究,通過(guò)改變放電功率、氣壓、放電距離、陰極數(shù)目與組合等條件,掌握等離子體各參數(shù)的變化規(guī)律,提高等離子體的密度,最后利用COMSOL模擬軟件,對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證分析。首先,利用發(fā)射光譜診斷法研究了射頻等離子體放電參數(shù)關(guān)系,掌握了E-H放電模式轉(zhuǎn)的換放電增強(qiáng)條件。通過(guò)光纖光譜儀對(duì)ICP放電等離子體在圓柱型放電裝置中E模到H模的轉(zhuǎn)化進(jìn)行了研究。E模到H模的轉(zhuǎn)化是一個(gè)突然變化的過(guò)程,轉(zhuǎn)換功率會(huì)因不同的氣體流率、放電氣壓和氣體組成而變化。通過(guò)對(duì)419.8nm氬原子譜線和434.8nm氬離子譜線進(jìn)行采集和分析來(lái)表征E模到H模的轉(zhuǎn)換功率,當(dāng)放電氣壓為60Pa時(shí),E-H轉(zhuǎn)換功率最... 

【文章來(lái)源】：北京工業(yè)大學(xué)北京市 211工程院校

【文章頁(yè)數(shù)】：71 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 等離子體概論
        1.1.1 等離子體概念與發(fā)展
        1.1.2 等離子體的分類
        1.1.3 等離子體的應(yīng)用
    1.2 等離子體的產(chǎn)生方式
        1.2.1 直流放電等離子體
        1.2.2 射頻感應(yīng)耦合等離子體
    1.3 等離子體診斷技術(shù)
        1.3.1 探針?lè)?br>        1.3.2 發(fā)射光譜法
    1.4 本文研究意義與目的
第2章 射頻感應(yīng)耦合等離子體E-H模的轉(zhuǎn)換
    2.1 引言
    2.2 射頻感應(yīng)耦合等離子體裝置搭建
        2.2.1 ICP放電裝置搭建
        2.2.2 ICP診斷系統(tǒng)
    2.3 射頻感應(yīng)耦合等離子體E-H模光譜診斷
        2.3.1 放電氣壓對(duì)E-H轉(zhuǎn)換功率的影響
        2.3.2 不同的氣體組分對(duì)E-H轉(zhuǎn)換功率的影響
        2.3.3 氣體流率對(duì)E-H轉(zhuǎn)換功率的影響
    2.4 小結(jié)
第3章 細(xì)管直流放電等離子體實(shí)驗(yàn)及測(cè)量診斷系統(tǒng)的裝置設(shè)計(jì)與搭建
    3.1 引言
    3.2 細(xì)管直流放電實(shí)驗(yàn)及測(cè)量診斷系統(tǒng)的裝置設(shè)計(jì)
        3.2.1 直流輝光放電
        3.2.2 輝光條紋現(xiàn)象
    3.3 直流放電等離子體診斷系統(tǒng)
        3.3.1 朗繆爾探針診斷
        3.3.2 光譜診斷系統(tǒng)
    3.4 本章小結(jié)
第4章 細(xì)管直流放電等離子體的放電實(shí)驗(yàn)
    4.1 引言
    4.2 放電介質(zhì)與功率的影響
        4.2.1 放電氣壓對(duì)等離子體參數(shù)及光譜強(qiáng)度的影響
        4.2.2 放電功率對(duì)等離子體參數(shù)及光譜強(qiáng)度的影響
    4.3 放電結(jié)構(gòu)因素的影響
        4.3.1 電極距離對(duì)等離子體參數(shù)及光譜強(qiáng)度的影響
        4.3.2 陰極數(shù)目對(duì)等離子體參數(shù)及光譜強(qiáng)度的影響
    4.4 分段式放電實(shí)驗(yàn)
        4.4.1 分段放電方法設(shè)計(jì)
        4.4.2 分段式放電與單獨(dú)閉合放電的比較
    4.5 本章小結(jié)
第5章 基于COMSOL的直流放電等離子體模擬
    5.1 引言
    5.2 等離子體模擬方式
    5.3 直流放電等離子體模型
    5.4 模擬結(jié)果分析
        5.4.1 對(duì)不同的放電距離進(jìn)行模擬
        5.4.2 對(duì)不同的放電面積進(jìn)行模擬
        5.4.3 對(duì)不同的放電電壓進(jìn)行模擬
        5.4.4 對(duì)不同放電氣壓進(jìn)行模擬
    5.5 本章小節(jié)
結(jié)論與展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間所獲得學(xué)術(shù)論文
致謝



本文編號(hào)：2935328