交流電壓激勵(lì)大氣壓等離子體刷的放電特性研究
【學(xué)位單位】:河北大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位年份】:2018
【中圖分類】:O53
【部分圖文】:
第 1 章 引言第 1 章 引言近年來,大氣壓等離子體已經(jīng)成為低溫等離子體研究的熱點(diǎn)之一,引起了人們廣泛關(guān)注。與低氣壓等離子體相比,大氣壓等離子體可以在開放的空間,無需真空裝置,且結(jié)構(gòu)簡單,經(jīng)濟(jì)實(shí)用,操作便捷,便于流水線生產(chǎn),因此在各個(gè)領(lǐng)域具有非常重要應(yīng)用前景。例如:在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,傷口愈合、殺菌消毒,對(duì)一些細(xì)菌、真菌以及病等病變的微生物處理使其失活[1-7];在工業(yè)領(lǐng)域,納米材料制備、表面改性、臭氧產(chǎn)生、蝕、薄膜沉積、等離子體燈制造、等離子體顯示[8-13];在環(huán)境領(lǐng)域,如廢氣、脫硫脫等[14,15];以及在軍事領(lǐng)域可用于等離子體隱身[16]等諸多領(lǐng)域得到應(yīng)用。(a)(b)
壓下易于實(shí)現(xiàn)氣體放電,但是放電不穩(wěn)定容易過渡到絲狀放電。因此如何可以抑制大氣壓放電的不穩(wěn)定性,在大氣壓下實(shí)現(xiàn)均勻放電,這樣的研究對(duì)于工業(yè)應(yīng)用具有重要意義。傳統(tǒng)的在大氣壓中獲得等離子體的放電方式主要有:電暈放電、輝光放電、弧光放電。對(duì)于這幾種放電相比:電暈放電產(chǎn)生活性粒子的效率低,不適合于工業(yè)的應(yīng)用;弧光放電可以高效率地產(chǎn)生活性粒子,但是電子溫度極高容易損壞儀器設(shè)備或生物材料;與前面兩種放電比較,輝光放電不僅放電穩(wěn)定容易產(chǎn)生等離子體,而且電子溫度適中更適合于各領(lǐng)域的應(yīng)用,因此大氣壓輝光放電近年來受到人們更多的關(guān)注。最初的大氣壓輝光放電是通過介質(zhì)阻擋獲得的,即通過在兩電極間插入介質(zhì)板來抑制輝光向弧光的轉(zhuǎn)變,進(jìn)而獲得穩(wěn)定彌散的輝光放電。20 世紀(jì) 80 年 Okazaki 等[17]首次通過在介質(zhì)阻擋電極結(jié)構(gòu)、特定的驅(qū)動(dòng)頻率下獲得了大氣壓氦氣的均勻放電,該研究引起了廣泛的關(guān)注。隨后,Massines 等[18]證實(shí)了在氦氣中的彌散放電屬于大氣壓輝光放電。此外 Fang 等[19]研究空氣介質(zhì)阻擋放電發(fā)現(xiàn)氣隙間距和介質(zhì)厚度越小放電越穩(wěn)定。Garamoon 等[20]通過Al2O3作為電介質(zhì)在大氣壓空氣中可以獲得輝光放電,而用玻璃作為電介質(zhì)則變?yōu)榻z狀
然而,普遍在大氣壓下介質(zhì)阻擋放電中兩電極間隙很小,其間隙通常只有幾 mm[22],因此使得待處理材料的尺度也受到了限制,即大氣壓介質(zhì)阻擋放電很難處理大體積的三維物體。為了解決這一問題,人們研發(fā)了大氣壓等離子體噴槍[23-26],其實(shí)質(zhì)的機(jī)理是利用氣流將電極區(qū)放電產(chǎn)生的等離子體吹出,在氣流下游區(qū)域可以產(chǎn)生具有一定的均勻等離子體,從而使等離子體產(chǎn)生區(qū)和應(yīng)用區(qū)實(shí)現(xiàn)分離,消除了電極對(duì)待處理材料尺度的限制。由于等離子體噴槍具有這樣的優(yōu)勢(shì),所以人們對(duì)其進(jìn)行了大量研究,相繼研發(fā)了各種類型的等離子體噴槍[27]。Uchida 等[28]利用不同波形的電壓激勵(lì)氦氣噴槍,產(chǎn)生了不同長度的等離子體羽,并對(duì)其光譜特性進(jìn)行了對(duì)比研究。Yambe 等[29]利用射頻電壓激勵(lì)氦氣噴槍,發(fā)現(xiàn)噴槍內(nèi)徑對(duì)等離子體羽長度有影響。Chang 等[30]利用正弦電壓激勵(lì)雙環(huán)型氦氣噴槍,對(duì)不同峰值電壓及氣體流量下的放電模式進(jìn)行了研究。Liu 等[31]利用脈沖電壓激勵(lì)針-環(huán)型噴槍,研究了電極間距對(duì)氦氣等離子體羽中活性粒子濃度和氣體溫度的
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