交流電壓激勵大氣壓等離子體刷的放電特性研究
【學位單位】:河北大學
【學位級別】:碩士
【學位年份】:2018
【中圖分類】:O53
【部分圖文】:
第 1 章 引言第 1 章 引言近年來,大氣壓等離子體已經成為低溫等離子體研究的熱點之一,引起了人們廣泛關注。與低氣壓等離子體相比,大氣壓等離子體可以在開放的空間,無需真空裝置,且結構簡單,經濟實用,操作便捷,便于流水線生產,因此在各個領域具有非常重要應用前景。例如:在生物醫(yī)學領域,傷口愈合、殺菌消毒,對一些細菌、真菌以及病等病變的微生物處理使其失活[1-7];在工業(yè)領域,納米材料制備、表面改性、臭氧產生、蝕、薄膜沉積、等離子體燈制造、等離子體顯示[8-13];在環(huán)境領域,如廢氣、脫硫脫等[14,15];以及在軍事領域可用于等離子體隱身[16]等諸多領域得到應用。(a)(b)
壓下易于實現(xiàn)氣體放電,但是放電不穩(wěn)定容易過渡到絲狀放電。因此如何可以抑制大氣壓放電的不穩(wěn)定性,在大氣壓下實現(xiàn)均勻放電,這樣的研究對于工業(yè)應用具有重要意義。傳統(tǒng)的在大氣壓中獲得等離子體的放電方式主要有:電暈放電、輝光放電、弧光放電。對于這幾種放電相比:電暈放電產生活性粒子的效率低,不適合于工業(yè)的應用;弧光放電可以高效率地產生活性粒子,但是電子溫度極高容易損壞儀器設備或生物材料;與前面兩種放電比較,輝光放電不僅放電穩(wěn)定容易產生等離子體,而且電子溫度適中更適合于各領域的應用,因此大氣壓輝光放電近年來受到人們更多的關注。最初的大氣壓輝光放電是通過介質阻擋獲得的,即通過在兩電極間插入介質板來抑制輝光向弧光的轉變,進而獲得穩(wěn)定彌散的輝光放電。20 世紀 80 年 Okazaki 等[17]首次通過在介質阻擋電極結構、特定的驅動頻率下獲得了大氣壓氦氣的均勻放電,該研究引起了廣泛的關注。隨后,Massines 等[18]證實了在氦氣中的彌散放電屬于大氣壓輝光放電。此外 Fang 等[19]研究空氣介質阻擋放電發(fā)現(xiàn)氣隙間距和介質厚度越小放電越穩(wěn)定。Garamoon 等[20]通過Al2O3作為電介質在大氣壓空氣中可以獲得輝光放電,而用玻璃作為電介質則變?yōu)榻z狀
然而,普遍在大氣壓下介質阻擋放電中兩電極間隙很小,其間隙通常只有幾 mm[22],因此使得待處理材料的尺度也受到了限制,即大氣壓介質阻擋放電很難處理大體積的三維物體。為了解決這一問題,人們研發(fā)了大氣壓等離子體噴槍[23-26],其實質的機理是利用氣流將電極區(qū)放電產生的等離子體吹出,在氣流下游區(qū)域可以產生具有一定的均勻等離子體,從而使等離子體產生區(qū)和應用區(qū)實現(xiàn)分離,消除了電極對待處理材料尺度的限制。由于等離子體噴槍具有這樣的優(yōu)勢,所以人們對其進行了大量研究,相繼研發(fā)了各種類型的等離子體噴槍[27]。Uchida 等[28]利用不同波形的電壓激勵氦氣噴槍,產生了不同長度的等離子體羽,并對其光譜特性進行了對比研究。Yambe 等[29]利用射頻電壓激勵氦氣噴槍,發(fā)現(xiàn)噴槍內徑對等離子體羽長度有影響。Chang 等[30]利用正弦電壓激勵雙環(huán)型氦氣噴槍,對不同峰值電壓及氣體流量下的放電模式進行了研究。Liu 等[31]利用脈沖電壓激勵針-環(huán)型噴槍,研究了電極間距對氦氣等離子體羽中活性粒子濃度和氣體溫度的
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本文編號:2845501
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