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正負(fù)方波調(diào)幅電源及靜電探針數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)研究

發(fā)布時(shí)間:2020-06-15 00:09
【摘要】:等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài),被視為是除了固體、液體和氣體之外,廣泛存在于宇宙和人類的生活中的第四種物質(zhì)形態(tài),其在能源、化學(xué)、材料科學(xué)、空間物理、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。在種種研究等離子體性能的實(shí)驗(yàn)手段之中,靜電探針診斷技術(shù)的作用尤為重要。例如通過對(duì)材料加工過程中的等離子體進(jìn)行探針診斷,可以通過得到的數(shù)據(jù)和圖形,分析并獲得等離子體變量和宏觀參數(shù)之間的關(guān)聯(lián),從而對(duì)材料加工過程中等離子體中如何進(jìn)行物理、化學(xué)反應(yīng),以及等離子體與材料如何相互作用有更深的理解,在此基礎(chǔ)之上進(jìn)一步建立材料結(jié)構(gòu)、性能的整體框架,獲得材料性能改變的微觀機(jī)制,從而控制等離子體的加工過程。作為等離子體參數(shù)診斷的必備工具之一,雖然朗繆爾探針測(cè)量理論在1924年已經(jīng)被提出,并在日后的發(fā)展中不斷進(jìn)步,但是實(shí)際測(cè)量的誤差一直比較粗燥,致使探針測(cè)量數(shù)據(jù)只具有數(shù)量級(jí)參考意義。針對(duì)現(xiàn)有診斷儀器存在的不足,本文設(shè)計(jì)了一款基于USB總線的高性能、高精度、等離子體電壓-電流于一體的正負(fù)方波調(diào)幅電源及靜電探針數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng),采用差分16位高精度模擬信號(hào)采集(最高穩(wěn)定采樣速率為500KSPS),并且內(nèi)部DA與AD的時(shí)鐘同步,即在AD采集時(shí)鐘的上升沿或者下降沿同步實(shí)現(xiàn)DA輸出,并且使用LabVIEW軟件在上位機(jī)上對(duì)整個(gè)過程實(shí)現(xiàn)精確的同步控制及測(cè)量。
【學(xué)位授予單位】:安徽理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:O53
【圖文】:

單探針,基本結(jié)構(gòu),朗繆爾


2 朗繆爾靜電探針診斷原理繆爾靜電探針原理概述 朗繆爾探針的結(jié)構(gòu)和使用條件在需要測(cè)量的等離子體中插入一根金屬探針,并在此探針上施加正負(fù)電子或離子電流,這就是靜電探針的基本原理,它是最早也是最有用診斷工具之一,至今在各領(lǐng)域仍然有著廣泛的應(yīng)用。這種探針的發(fā)明朗繆爾,莫特史密斯和和朗繆爾在 1926 年對(duì)其做出了非常詳細(xì)的分析常被稱作朗繆爾探針[9]。如圖 2-1 所示,如果以接地的金屬真空室壁作為另一個(gè)電極,這樣則式,此時(shí)與等離子體接觸的兩個(gè)探針的表面積大小有幾個(gè)數(shù)量級(jí)的差等離子體中插入兩個(gè)金屬探針,且探針表面積相同,則成為雙探針式論的,主要為單探針式。

電流-電壓特性,探針,測(cè)量裝置


圖 2-2 探針的電流-電壓特性測(cè)量裝Fig.2-2 The I Vcharacteristic measuring devic為了測(cè)量探針的電流和電壓,從而獲得電流電壓探針為必要工具,還需電壓可以調(diào)節(jié)的掃描電源,以及這個(gè)采集設(shè)備中一般包括上位機(jī)、示波器、采集卡、部件。計(jì)算機(jī)軟件部分可以使用 LabVIEW 軟件編寫整個(gè)過程進(jìn)行同步控制和參數(shù)處理。2.2.1 朗繆爾探針的電流-電壓特性圖 2-3 為單探針的I V特性曲線圖。Ia

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本文編號(hào):2713577

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