【摘要】：在詳細考慮電化學反應和粒子碰撞關系的基礎上,建立了螺旋波放電三維直接數(shù)值計算模型,舍棄以往模型小擾動假設,對Maxwell方程組直接求解以計算電磁場能量沉積份額,擴展了螺旋波等離子體計算模型的精度和適用范圍.以Ar為工質氣體的仿真結果顯示:密度躍升效應和電子溫度與放電壓力的關系與Toki等和Chen的實驗結果符合較好;與經(jīng)典鞘層理論對比,在粒子數(shù)密度、德拜長度、電勢以及電子溫度的分布上取得高度一致,驗證了模型的有效性和精度.利用本文模型研究了低場螺旋波放電過程中的磁場峰值現(xiàn)象,驗證了放電室端面的波干涉機理,并發(fā)現(xiàn)波干涉的本質是螺旋波分量與其端面回波疊加形成的駐波.

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