發(fā)布時間：2019-08-28 14:03

【摘要】：提出了一種陣列式洛倫茲力微顆粒探測法,該方法結(jié)合了散斑干涉技術(shù)的全場位移測量、分辨率高等特性與洛倫茲力微顆粒探測法中探測量為矢量、可探測內(nèi)部缺陷等優(yōu)勢,探索了一種實(shí)時、在線、原位的缺陷檢測方法.針對陣列式洛倫茲力微顆粒探測法中陣列式排布的多個懸臂梁位移測量問題,設(shè)計(jì)了大剪切數(shù)字散斑干涉系統(tǒng),使來自于被測懸臂梁和安裝懸臂梁的橫梁的反射光發(fā)生干涉,形成剪切干涉,通過對相位差進(jìn)行分析獲得懸臂梁的絕對位移,并且以洛倫茲力及懸臂梁末端的位移量為中間量建立了散斑干涉相位差與缺陷體積之間的關(guān)系.本文通過實(shí)驗(yàn)成功獲得了懸臂梁全場位移量以及缺陷的體積,通過散斑干涉的方法測量懸臂梁位移量理論分辨率可達(dá)30 nm,這使洛倫茲力微顆粒探測法具備了微米級缺陷的探測能力.
【作者單位】： 中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電技術(shù)學(xué)院;北京信息科技大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;中國科學(xué)院光電研究院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:51374190) 中國科學(xué)院重大裝備項(xiàng)目(批準(zhǔn)號:YZ201567)資助的課題~~
【分類號】：O436.1

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本文編號：2530190