【摘要】：提出了一種基于譜域相位分辨光學(xué)相干層析的納米級表面形貌成像方法,由干涉光譜計(jì)算樣品相鄰兩點(diǎn)的相位差,得到樣品表面相位差分圖,經(jīng)過積分,重建樣品表面形貌的定量分布.當(dāng)相鄰兩點(diǎn)相位差的絕對值小于π,不產(chǎn)生相位包裹,避免了目前的干涉法相位解包裹存在的問題,將干涉法相鄰兩點(diǎn)相位差絕對值的限制條件由目前的π擴(kuò)大到2π,提高了干涉法表面形貌成像的適用范圍.參考面和樣品置于同一平臺(tái)之上,消除環(huán)境干擾及系統(tǒng)振動(dòng)的影響,噪聲幅度小于0.3 nm.通過對光學(xué)分辨率片及表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣板的表面形貌成像,對本方法進(jìn)行了驗(yàn)證,系統(tǒng)的軸向分辨率優(yōu)于1 nm.
[Abstract]:Based on the phase resolved optical coherence tomography in spectral domain, an imaging method of nanometer surface topography is proposed. The phase difference between two adjacent points of the sample is calculated by the interferometric spectrum, and the phase difference map of the sample surface is obtained, and the phase difference of the sample surface is obtained by integration. The quantitative distribution of the surface morphology of the samples was reconstructed. When the absolute value of the phase difference between two adjacent points is less than 蟺, there is no phase wrapping, which avoids the problem of phase unwrapping in the current interferometric method. The limit of the absolute phase difference between adjacent two points in the interferometric method is expanded from 蟺 to 2 蟺. The application range of interferometric surface topography imaging is improved. The reference plane and sample are placed on the same platform to eliminate the influence of environmental interference and system vibration. The noise amplitude is less than 0.3 nm.. The method is verified by imaging the surface topography of the optical resolution film and the standard template of surface roughness. The axial resolution of the system is better than 1 nm..
【作者單位】： 東北大學(xué)秦皇島分�？刂乒こ虒W(xué)院;燕山大學(xué)電氣工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61275214,31170956) 河北省自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):A2015501065,H2015501133)資助的課題~~
【分類號(hào)】：O439

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本文編號(hào)：2458624