【摘要】：針對(duì)激光等離子體的邊緣粒子對(duì)激光沉積類金剛石膜性能的不利影響,改進(jìn)自轉(zhuǎn)襯底一維變速平移技術(shù)的大面積均勻鍍膜機(jī)構(gòu)。利用開孔的擋板濾除等離子體邊緣的粒子,同時(shí)在原有膜厚分布數(shù)學(xué)模型中加入相應(yīng)的模塊;通過(guò)優(yōu)化模型中的機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)參數(shù),指導(dǎo)實(shí)驗(yàn)獲得了直徑200 mm的大面積均勻類金剛石膜。測(cè)試結(jié)果表明:該類金剛石膜的不均勻性為±4.5%,且膜厚分布特征與理論優(yōu)化結(jié)果相同,同時(shí)納米硬度和紅外透過(guò)率較改進(jìn)前顯著提高;相對(duì)于改進(jìn)前的大面積均勻鍍膜技術(shù),改進(jìn)后的機(jī)構(gòu)具有更實(shí)際的應(yīng)用價(jià)值。
[Abstract]:Aiming at the adverse effect of the edge particles of laser plasma on the performance of diamond-like carbon film deposited by laser, a large area uniform coating mechanism is improved by using one-dimensional variable speed translation technique on the rotation substrate. The particles at the edge of the plasma are filtered by the open-hole baffle, and the corresponding modules are added to the original mathematical model of film thickness distribution. A large area homogeneous diamond-like carbon film with a diameter of 200 mm was obtained by optimizing the kinematic parameters of the mechanism in the model. The results show that the inhomogeneity of the diamond films is 鹵4.5, and the film thickness distribution is the same as that of the theoretical optimization. Meanwhile, the nano-hardness and infrared transmittance of the diamond films are improved significantly. Compared with the large area uniform coating technology before the improvement, the improved mechanism has more practical application value.
【作者單位】： 武漢軍械士官學(xué)校光電技術(shù)研究所;
【基金】：國(guó)家部委預(yù)先研究項(xiàng)目(51318060212)
【分類號(hào)】：TN249

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 程宇航,吳一平,陳建國(guó),喬學(xué)亮,謝長(zhǎng)生;類金剛石膜中應(yīng)力釋放花樣形貌分析[J];真空科學(xué)與技術(shù);1998年01期

2 戴劍鋒,何彥林,王青;超硬納米類金剛石膜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及其形成機(jī)制的探討[J];甘肅工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2002年03期

3 楊武保,范松華,劉赤子,張谷令,王久麗,楊思澤;脈沖高能量密度等離子體法類金剛石膜的制備及分析[J];物理學(xué)報(bào);2003年01期

4 衛(wèi)中山,左敦穩(wěn);類金剛石膜的制備及應(yīng)用[J];航空精密制造技術(shù);2004年01期

5 鄧潔;覃禮釗;吳正龍;;類金剛石膜的性質(zhì)及應(yīng)用[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;2007年03期

6 楊玉衛(wèi);楊堅(jiān);古宏偉;劉慧舟;張華;金薇;;類金剛石膜的性能、制備及其應(yīng)用[J];硅酸鹽通報(bào);2008年01期

7 張馨;肖曉玲;洪瑞江;羅承萍;林松盛;;摻雜鎢類金剛石膜的顯微結(jié)構(gòu)與性能[J];機(jī)械工程材料;2009年09期

8 郭延龍;孫有文;王淑云;王小兵;程勇;盧常勇;;非金屬摻雜類金剛石膜的研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2009年04期

9 侯惠君;李洪武;林松盛;朱霞高;林凱生;代明江;;摻鎢類金剛石膜的制備與性能研究[J];廣東有色金屬學(xué)報(bào);2006年03期

10 林松盛;代明江;侯惠君;李洪武;朱霞高;林凱生;;摻鈦類金剛石膜的微觀結(jié)構(gòu)研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2007年05期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 劉璨;蘭惠清;王洋;;含硅類金剛石膜的研究進(jìn)展[A];第七屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第2分冊(cè)）[C];2010年

2 代明江;林松盛;候惠君;李洪武;;類金剛石膜的性能及在工模具上的應(yīng)用[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2005年

3 王青;戴劍鋒;李維學(xué);魏智強(qiáng);;類金剛石膜的性質(zhì)、制備及應(yīng)用研究[A];數(shù)學(xué)·力學(xué)·物理學(xué)·高新技術(shù)研究進(jìn)展——2004（10）卷——中國(guó)數(shù)學(xué)力學(xué)物理學(xué)高新技術(shù)交叉研究會(huì)第10屆學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2004年

4 郭延龍;王淑云;楊雪;朱孟真;程勇;王會(huì)升;;摻硅類金剛石膜的研究進(jìn)展[A];2009年先進(jìn)光學(xué)技術(shù)及其應(yīng)用研討會(huì)論文集（上冊(cè)）[C];2009年

5 馬國(guó)佳;張華芳;武洪臣;彭麗平;;改善類金剛石膜性能的方法研究[A];第七屆全國(guó)表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議暨第二屆表面工程青年學(xué)術(shù)論壇論文集（一）[C];2008年

6 代明江;林松盛;候惠君;朱霞高;李洪武;;用離子源技術(shù)制備類金剛石膜研究[A];2004年中國(guó)材料研討會(huì)論文摘要集[C];2004年

7 郭延龍;張璽;曹海源;袁孝;張熹;胡婷婷;盧常勇;萬(wàn)強(qiáng);;飛秒脈沖激光沉積類金剛石膜實(shí)驗(yàn)研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

8 張旭;吳先映;吳正龍;徐元直;李強(qiáng);覃禮釗;張薈星;;高結(jié)合強(qiáng)度類金剛石膜的制備與性能研究[A];2008年全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國(guó)電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)焊接專業(yè)委員會(huì)第九屆全國(guó)電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國(guó)離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國(guó)高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

9 俞世吉;;感應(yīng)耦合等離子體源制備硬質(zhì)類金剛石膜的研究[A];'2001全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2001年

10 彭鴻雁;趙立新;金曾孫;;高功率準(zhǔn)分子激光沉積類金剛石膜的結(jié)構(gòu)及性能[A];中國(guó)復(fù)合材料學(xué)會(huì)2004年年會(huì)論文集[C];2004年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 劉艷紅;介質(zhì)阻擋放電制備類金剛石膜的研究[D];大連理工大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 王寧;生物醫(yī)用鎂基類金剛石復(fù)合材料的研究[D];青島科技大學(xué);2015年

2 陳羿男;含氫類金剛石膜生長(zhǎng)及摩擦機(jī)理研究[D];清華大學(xué);2015年

3 吳志猛;類金剛石膜的制備與特性研究[D];遼寧工程技術(shù)大學(xué);2002年

4 馬國(guó)佳;應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)上的類金剛石膜制備[D];大連理工大學(xué);2003年

5 張茹芝;氟化類金剛石膜的制備、結(jié)構(gòu)和性能的研究[D];大連理工大學(xué);2004年

6 趙立新;準(zhǔn)分子激光制備類金剛石膜及性能研究[D];吉林大學(xué);2005年

7 汲大朋;電化學(xué)法沉積類金剛石膜的研究[D];大連理工大學(xué);2007年

8 王瑜;金屬表面制備類金剛石膜的性能研究[D];北京印刷學(xué)院;2005年

9 王立達(dá);不銹鋼表面摻硅類金剛石膜的制備、結(jié)構(gòu)及性能[D];大連理工大學(xué);2005年

10 卞瀟雨;等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制備類金剛石膜及其納米力學(xué)性能研究[D];北京交通大學(xué);2007年

，

本文編號(hào)：2394472