【摘要】：全息光柵拼接參數(shù)需要用參考干涉條紋來(lái)檢測(cè)。系統(tǒng)像差會(huì)造成干涉條紋扭曲,產(chǎn)生光柵拼接誤差。為補(bǔ)償像差造成的光柵拼接誤差,對(duì)像差與干涉條紋扭曲量之間的理論關(guān)系進(jìn)行了研究,利用計(jì)算機(jī)模擬了參考干涉條紋圖像,并將光柵拼接誤差預(yù)調(diào)制到參考干涉條紋圖像中。為驗(yàn)證該方法的有效性,在曝光系統(tǒng)像差峰-峰值為0.72λ的情況下進(jìn)行了光柵拼接實(shí)驗(yàn),在光柵拼縫處像差造成-1級(jí)衍射波面最大突變量為0.36λ。利用預(yù)制參考干涉條紋圖像作為拼接參考時(shí),其最大突變量為0.097λ。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在曝光系統(tǒng)像差較大的情況下,干涉條紋預(yù)制法能夠有效地控制光柵拼接誤差。
[Abstract]:The parameters of holographic grating splicing need to be detected by reference interference fringes. The aberration of the system will cause distortion of the interference fringes and the grating splicing error. In order to compensate the error of grating splicing caused by aberration, the theoretical relationship between aberration and distortion of interference fringes is studied. The reference interference fringe images are simulated by computer. The grating splicing error is premodulated into the reference interference fringe image. In order to verify the effectiveness of this method, a grating splicing experiment is carried out under the condition that the aberration peak to peak value of the exposure system is 0.72 位. The maximum abrupt amount of diffraction wave surface of order -1 caused by aberration of grating splicing is 0.36 位. When the prefabricated reference interference fringe image is used as the mosaic reference, the maximum mutation amount is 0.097 位. The experimental results show that the interference fringe prefabrication method can effectively control the grating splicing error when the aberration of the exposure system is large.
【作者單位】： 蘇州市職業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院;蘇州大學(xué)物理與光電能源學(xué)部蘇州納米科技協(xié)同創(chuàng)新中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61178046) 江蘇省高校自然科學(xué)研究重大項(xiàng)目(11KJA14001)
【分類號(hào)】：TN25

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;高端全息光柵研發(fā)項(xiàng)目啟動(dòng)[J];分析儀器;2012年02期

2 揭德爾;全息光柵[J];光學(xué)技術(shù);1986年01期

3 江根林;全息光柵復(fù)制工藝的研究[J];光學(xué)技術(shù);1991年02期

4 寧亞平,趙慈;一種簡(jiǎn)便制作全息光柵的方法[J];物理實(shí)驗(yàn);1998年02期

5 王應(yīng)宗,呂且妮;用多級(jí)衍射全息光柵實(shí)現(xiàn)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的光學(xué)互連[J];陜西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2000年03期

6 王應(yīng)宗,呂且妮,馬琳,張以謨;多級(jí)衍射全息光柵[J];應(yīng)用光學(xué);2000年05期

7 馮德軍,開桂云,董孝義,劉大禾;非均勻反射體全息光柵的數(shù)值研究(英文)[J];光子學(xué)報(bào);2001年04期

8 呂且妮,張以謨,王應(yīng)宗,劉鐵根,陳希明;用多級(jí)衍射全息光柵實(shí)現(xiàn)2-D自由空間光學(xué)互連網(wǎng)絡(luò)(英文)[J];光子學(xué)報(bào);2001年09期

9 秦亞浪,何興道,鄒文棟;一種新的環(huán)形全息光柵制作方法[J];江西科學(xué);2004年05期

10 李憲龍,黃振宇,李榮福;全息光柵綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)——全息光柵的幾何效應(yīng)及衍射效應(yīng)[J];試驗(yàn)技術(shù)與試驗(yàn)機(jī);2005年03期

相關(guān)會(huì)議論文 前6條

1 俞嘉隆;;全息光柵的制作與特性研究[A];2005年全國(guó)高校非物理類專業(yè)物理教育學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2005年

2 趙美蓉;趙軼;;用簡(jiǎn)易光路調(diào)節(jié)尺制作全息光柵[A];湖北省物理學(xué)會(huì)、武漢物理學(xué)會(huì)2004’學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

3 隋雁;章鶴齡;胡服全;楊微;;可用于波分復(fù)用器的新型全息光柵的研究[A];2007年中國(guó)青年光學(xué)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2007年

4 李海蓮;楊德興;王昭;殷磊;趙建林;;鈮酸鋰晶體中寫入光學(xué)渦旋的體全息光柵研究[A];2009年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2009年

5 胡易;;光折變旋光鉍硅族氧化物的動(dòng)態(tài)全息光柵增益特性及優(yōu)化[A];科技、工程與經(jīng)濟(jì)社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展——中國(guó)科協(xié)第五屆青年學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

6 彭海炎;倪名立;文穎峰;廖永貴;解孝林;;丙烯酸酯/液晶復(fù)合體系的光聚合動(dòng)力學(xué)控制及其激光全息光柵[A];2014年兩岸三地高分子液晶態(tài)與超分子有序結(jié)構(gòu)學(xué)術(shù)研討會(huì)摘要集[C];2014年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前1條

1 記者 李黎 通訊員 徐國(guó)青;保稅區(qū)源祿公司全息光柵填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白[N];寧波日?qǐng)?bào);2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前8條

1 楊碩;超環(huán)面全息光柵的優(yōu)化設(shè)計(jì)與制作技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2016年

2 何天博;變折射率體全息光柵衍射特性分析方法與制作工藝研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

3 曾瑾;Ⅳ型凹面全息光柵參數(shù)優(yōu)化及誤差分析方法研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

4 劉鴻鵬;菲醌摻雜的聚甲基丙烯酸甲酯聚合物全息光柵動(dòng)力學(xué)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

5 崔繼承;O_2A帶高分辨率光譜測(cè)試技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

6 吳娜;全息光柵掩模圖形轉(zhuǎn)移理論模型及新工藝研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

7 石玲;細(xì)觀光測(cè)力學(xué)研究中的高頻全息光柵及精細(xì)網(wǎng)格技術(shù)[D];清華大學(xué);1994年

8 凌青;變間距全息光柵記錄光路的建模與優(yōu)化[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 呂聰玲;局域體全息光柵的衍射特性及其集成模塊化器件的研究[D];上海師范大學(xué);2015年

2 張禧照;近紅外波段體位相全息光柵的設(shè)計(jì)與制作[D];蘇州大學(xué);2015年

3 黎少翔;基于計(jì)算全息光柵產(chǎn)生高能光學(xué)渦旋的研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

4 梅啟靜;可見近紅外波段高品質(zhì)體位相全息光柵研制及應(yīng)用探討[D];蘇州大學(xué);2016年

5 鄭小丹;基于體全息光柵的波分復(fù)用器件的實(shí)驗(yàn)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2008年

6 王小懷;密集型多重體全息光柵波長(zhǎng)解復(fù)用技術(shù)研究[D];西北大學(xué);2004年

7 臧崢寧;大相對(duì)口徑凹面全息光柵用于拉曼光譜研究[D];蘇州大學(xué);2005年

8 段佳著;基于體全息光柵的光學(xué)相控陣放大級(jí)研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2014年

9 陳赤晶;平面全息光柵的矢量法研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2006年

10 李明;可見光波段內(nèi)高衍射效率透射體位相全息光柵的理論與實(shí)驗(yàn)研究[D];蘇州大學(xué);2011年

，

本文編號(hào)：2243284