【摘要】：考慮高精度子孔徑拼接干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)自動(dòng)化拼接的要求,提出了一種子孔徑零條紋自動(dòng)快速調(diào)節(jié)方法。分析了干涉條紋數(shù)量對(duì)拼接誤差的影響,分析顯示:當(dāng)子孔徑干涉條紋數(shù)量少于5條時(shí),干涉儀回程誤差小于λ/50(PV值)。對(duì)子孔徑拼接測(cè)量裝置進(jìn)行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化,提出了拼接位移臺(tái)角位移偏差自動(dòng)補(bǔ)償方法,實(shí)現(xiàn)了各個(gè)子孔徑的零條紋測(cè)量,進(jìn)而控制了子孔徑拼接的累積誤差。對(duì)450mm×60mm長(zhǎng)條鏡進(jìn)行了子孔徑拼接干涉測(cè)量,結(jié)果表明:自動(dòng)測(cè)量結(jié)果與手動(dòng)調(diào)整零條紋測(cè)量結(jié)果在面形分布上更為一致;但前者測(cè)量速度及測(cè)量效率都有所提高,測(cè)量時(shí)間平均減少5min。提出的方法不僅能完成干涉拼接測(cè)量裝置的自動(dòng)定位及自動(dòng)快速調(diào)整,還提高了測(cè)量重復(fù)性與檢測(cè)效率。
[Abstract]:Considering the requirement of high precision subaperture splicing interferometry for automatic stitching, a subaperture zero fringe automatic and fast adjusting method is proposed. The effect of the number of interference fringes on the splicing error is analyzed. It is shown that when the number of interference fringes is less than 5, the error of the interferometer return range is less than 位 / 50 (PV value). The structure of the subaperture splicing measuring device is optimized, and the automatic compensation method of the angular displacement deviation of the splicing displacement table is put forward. The zero fringe measurement of each sub-aperture is realized, and the cumulative error of the sub-aperture splicing is controlled. The subaperture splicing interferometry of 450mm 脳 60mm strip mirror is carried out. The results show that the result of automatic measurement is more consistent with that of manual adjustment of zero fringe, but the measuring speed and efficiency of the former are improved. The average measuring time was reduced by 5 mins. The proposed method can not only realize the automatic positioning and automatic adjustment of the interferometric splicing measuring device, but also improve the repeatability of measurement and the efficiency of detection.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2011zx02402-003)
【分類號(hào)】：O436.1

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本文編號(hào)：2165041