【摘要】：考慮高精度子孔徑拼接干涉測量技術(shù)對自動化拼接的要求,提出了一種子孔徑零條紋自動快速調(diào)節(jié)方法。分析了干涉條紋數(shù)量對拼接誤差的影響,分析顯示:當(dāng)子孔徑干涉條紋數(shù)量少于5條時,干涉儀回程誤差小于λ/50(PV值)。對子孔徑拼接測量裝置進行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化,提出了拼接位移臺角位移偏差自動補償方法,實現(xiàn)了各個子孔徑的零條紋測量,進而控制了子孔徑拼接的累積誤差。對450mm×60mm長條鏡進行了子孔徑拼接干涉測量,結(jié)果表明:自動測量結(jié)果與手動調(diào)整零條紋測量結(jié)果在面形分布上更為一致;但前者測量速度及測量效率都有所提高,測量時間平均減少5min。提出的方法不僅能完成干涉拼接測量裝置的自動定位及自動快速調(diào)整,還提高了測量重復(fù)性與檢測效率。
[Abstract]:Considering the requirement of high precision subaperture splicing interferometry for automatic stitching, a subaperture zero fringe automatic and fast adjusting method is proposed. The effect of the number of interference fringes on the splicing error is analyzed. It is shown that when the number of interference fringes is less than 5, the error of the interferometer return range is less than 位 / 50 (PV value). The structure of the subaperture splicing measuring device is optimized, and the automatic compensation method of the angular displacement deviation of the splicing displacement table is put forward. The zero fringe measurement of each sub-aperture is realized, and the cumulative error of the sub-aperture splicing is controlled. The subaperture splicing interferometry of 450mm 脳 60mm strip mirror is carried out. The results show that the result of automatic measurement is more consistent with that of manual adjustment of zero fringe, but the measuring speed and efficiency of the former are improved. The average measuring time was reduced by 5 mins. The proposed method can not only realize the automatic positioning and automatic adjustment of the interferometric splicing measuring device, but also improve the repeatability of measurement and the efficiency of detection.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室;
【基金】：國家科技重大專項資助項目(No.2011zx02402-003)
【分類號】：O436.1

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本文編號：2165041