本文選題：光柵 + 硅基光學(xué)��； 參考：《光學(xué)學(xué)報(bào)》2017年05期

【摘要】：為了優(yōu)化光柵性能,提出一種基于互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體兼容性制造工藝的非對(duì)稱包層調(diào)制光柵結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)通過調(diào)整光柵齒的位置來改變波導(dǎo)中傳輸光的耦合率,最終達(dá)到改善光柵的反射帶寬、消光比、輸出功率等性能參數(shù)的目的。利用耦合模理論分析了該改進(jìn)型光柵結(jié)構(gòu)對(duì)光柵耦合率、反射帶寬及輸出性能的影響,同時(shí)利用有限元方法進(jìn)行了數(shù)值仿真。結(jié)果表明,該改進(jìn)型光柵的反射帶寬由0.9nm減小到0.3nm,消光比的絕對(duì)值從29.2dB增加到35.1dB,耗散到包層的光功率從5.99×10~(-5) W減小到3.13×10~(-5) W;該改進(jìn)型光柵器件性能得到改善。
[Abstract]:In order to optimize the performance of grating, an asymmetric clad modulation grating structure based on complementary metal oxide semiconductor compatibility manufacturing process is proposed. By adjusting the position of the grating teeth, the coupling rate of the transmitted light in the waveguide is changed, and the performance parameters such as the reflection bandwidth, extinction ratio and output power of the grating are improved. The effect of the structure of the improved grating on the coupling rate, reflection bandwidth and output performance of the grating is analyzed by using the coupled mode theory, and the numerical simulation is carried out by using the finite element method. The results show that the reflectance bandwidth of the improved grating is reduced from 0.9nm to 0.3 nm, the absolute extinction ratio is increased from 29.2 dB to 35.1dB, the optical power dissipation to the cladding layer is reduced from 5.99 脳 10 ~ (-5) W to 3.13 脳 10 ~ (-5) W, and the performance of the improved grating device is improved.
【作者單位】： 蘭州交通大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;
【基金】：甘肅省自然科學(xué)基金(1610RJZA046) 甘肅省建設(shè)科技攻關(guān)項(xiàng)目(216094) 甘肅省高等學(xué)�？蒲许�(xiàng)目(216132)
【分類號(hào)】：TN256

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本文編號(hào)：2109657