本文選題：射頻放電 + 空心陰極放電　； 參考：《真空科學與技術學報》2017年09期

【摘要】：在氬氣環(huán)境下對射頻驅動下空心陰極的放電特性進行了實驗研究,得到了不同工作條件下射頻空心陰極放電中的電子密度、電子能量幾率分布函數等結果。研究結果表明,相比于平板電極容性耦合射頻放電,空心結構電極的射頻放電能獲得更高的電子密度。在形成空心陰極效應后,等離子體密度隨電壓、氣壓的升高而增大。通過EEPF進一步分析了射頻空心陰極放電電子加熱機制隨p D值、工作電壓的變化。發(fā)現當p D增加時,射頻空心陰極放電中電子加熱機制從以振蕩鞘層對高能電子的隨機加熱為主逐漸轉變?yōu)閷Φ入x子體中電子的歐姆加熱為主;當逐漸提升電壓時,電子本身獲得能量機制則由開始的歐姆加熱轉到了向后來的隨機加熱。
[Abstract]:The discharge characteristics of RF driven hollow cathode are experimentally studied in argon atmosphere. The results of electron density and electron energy probability distribution are obtained under different working conditions. The results show that the RF discharge of hollow structure electrode can obtain higher electron density than capacitive coupled RF discharge of flat electrode. After the hollow cathode effect is formed, the plasma density increases with the increase of voltage and pressure. Through EEPF, the variation of electron heating mechanism of RF hollow cathode discharge with PD value and working voltage is further analyzed. It is found that when PD increases, the mechanism of electron heating in RF hollow cathode discharge changes gradually from random heating of high-energy electrons in oscillating sheath to ohmic heating of electrons in plasma, and when the voltage is gradually increased, The mechanism by which the electrons themselves acquire energy is shifted from the initial ohmic heating to the subsequent random heating.
【作者單位】： 北京理工大學物理學院;
【基金】：國家自然科學基金項目(11475019;11005009)
【分類號】：O462

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本文編號：2073655